中古 KLA / TENCOR AIT #149930 を販売中

KLA / TENCOR AIT
製造業者
KLA / TENCOR
モデル
AIT
ID: 149930
ヴィンテージ: 1997
Defect inspection system, 8" 1997 vintage.
KLA/TENCOR AIT (Automated Inspection Technology)は、ウェーハ検査ソリューションのリーディングプロバイダーであるKLAが製造するウェーハ検査および計測機器です。半導体などのマイクロエレクトロニクスデバイスの製造中の品質を検査するために使用され、通常は集積回路(IC)製造段階で使用されます。このシステムは、電子ダイ(回路素子層)をスキャンし、高解像度顕微鏡で結果を測定することによって機能します。次に、これらの画像を定義された一連の顧客が提供する仕様と自動的に比較し、ソフトウェアアルゴリズムを使用して欠陥を特定します。KLA AITは、さまざまな統合された最先端の技術を使用して、ウェーハを正確に測定し、製造結果を詳細に分析し、製品の故障につながる前にプロセスと設計の問題を特定するのに役立ちます。このユニットには強力なマルチカラー顕微鏡が含まれており、オペレータは1ミクロンの小さい特徴を調べることができます。また、分光計、CCDカメラ、各種光学フィルターなど、さまざまな先進的な光学系を備えています。これらにより、顕微鏡はテスト中のデバイスに関するより多くの情報を収集し、ユーザーに高感度の計測データを提供することができます。また、ウェーハの光学スキャンを素早く行うことで、これまでにない効率で欠陥を検出するように設計された自動光学検査(AOI)プラットフォームでも使用できます。AOIは、すべてのダイを手動で検査しなければならない人間とは対照的に、単一のスキャンで問題をすばやく検出できるため、テスト時間を短縮するのに役立ちます。TENCOR AITは、これらのAOI技術と計測技術を組み合わせて、デバイスの欠陥を効率的に検査、測定、分類し、ユーザーにデバイス状態の包括的な分析を提供します。AITは、データ収集と分析、物理検査、およびダイレベル分析をシームレスに統合します。ユーザーに詳細なレポートと分析を提供し、製造プロセスのパフォーマンスを最適化しながら情報に基づいた意思決定を行うことができます。直感的なインターフェイスと柔軟な構成オプションにより、IC製造スタッフは一貫したレベルのプロセス最適化とデバイス品質保証を実現できます。高度な機能と機能を備えたKLA/TENCOR AITは、あらゆるウェハテストおよび計測環境に不可欠な要素です。堅牢な光学系、柔軟な制御ソフトウェア、およびユーザーフレンドリーなインターフェイスを組み合わせることで、小さな欠陥を迅速に特定し、生産コストを削減するための理想的なツールとなります。KLA AITは、信頼性の高い分析とフィードバックを提供することにより、デバイス障害のリスクを低減し、製品が一貫して高品質で生産されることを保証します。
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