中古 KLA / TENCOR AIT XUV #9145311 を販売中

KLA/TENCOR AIT XUVは、産業用および半導体アプリケーションの幅広い用途に使用されるウェーハ試験および計測機器です。幅広い材料・部品を正確に測定・検査できる特殊なイメージング・計測システムです。KLA AIT XUVは、深紫外線（DUV）シンクロトロン源をベースにしており、水冷イメージングオプティクスと高度なソフトウェアを使用して、高解像度、非接触画像、正確な測定を行います。このユニットは、フォトリソグラフィ、走査型電子顕微鏡、ラマン分光など、さまざまな特殊なイメージング技術を使用しています。また、特性と深さの欠陥を検出しながら、表面フィーチャーの正確な測定と特性評価を行うことができます。TENCOR AIT-XUVは、さまざまな要件に合わせて拡張可能に設計されており、ユーザーは特定のアプリケーションに最適なパフォーマンスレベルを選択できます。また、モジュラー性に優れているため、ユーザーは正確なニーズに合わせてマシンをカスタマイズして構成することができます。このツールはまた、位置オーバーレイや自動故障解析など、多くのオートメーションとソフトウェアオプションをユーザーに提供します。KLA AIT-XUVには、重要寸法、表面テクスチャ、オーバーレイ精度などのパラメータの見直しと測定、ナノスケールの欠陥の検査に特化したツールが含まれています。また、材料の特性を識別し分類するための高度な光学系と解像度も含まれています。半導体サンプルの微細構造やナノ構造を精密に解析することができます。KLA/TENCOR AIT-XUVは、汎用性の高い設計と高性能により、幅広い産業および半導体アプリケーションに適しています。微細なディテールとサブミクロンの特徴を正確に画像化し、特徴付けることができます。それはまた信頼でき、耐久操作を提供するように設計されています。それは優秀な柔軟性を提供し、研究、生産および品質管理を含む多くの異なった文脈で使用することを可能にします。