中古 KLA / TENCOR AIT XUV #9113703 を販売中

KLA/TENCOR AIT XUVは、ウェハテストおよび計測機器です。これは、高度な集積回路やその他のナノ構造材料のマイクロおよびナノスケールの特徴に関するユニークな洞察を提供します。KLA AIT XUVは、これまでにない小型半導体技術の進歩に伴い、State Of The Art （SOTA）の太陽光発電、電子、イオンイメージング技術を活用したリアルタイム計測機能を提供します。デバイス構造をナノメートルスケールまで測定でき、高スループット設計によりデータを迅速に取得できます。TENCOR AIT-XUVは、直接オンウェーハイオンイメージング、電子チャネリングコントラストイメージング、X線検査が可能な小型粒子加速器を備えています。このシステムには、高解像度地形画像用の高解像度荷電粒子顕微鏡も含まれています。このユニットは、デバイスの性能を分析するだけでなく、デバイス構造を最適化するために理想的です。また、表面層と埋葬層の両方の高解像度画像から包括的な2Dおよび3D情報を提供します。機械はプロダクトの表面の物質的な汚染物を識別し、きれいにすることを容易にする高度の速くきれいで、安全な技術を提供します。さらに、高速スループット検査のためのハイスループットモードと、データの整合性と精度向上のための低ノイズ信号処理アルゴリズムを提供します。AIT-XUVはマルチプレクサ設計を採用し、サンプルスループットを向上させ、複数のチップを同時にスキャンできます。各部品の正確な位置決めと登録を確保するために、高度に構成可能なレーザー間接アライメント資産を使用して、サンプルを慎重にロードおよびアンロードします。このモデルは、画像精度、解像度、再現性、スループット、および感度の面で半導体業界の厳しい要件を満たしています。さらに、KLA/TENCOR AIT-XUVは、圧力センサ、フラックスモニター、温度コントローラを備えた温度制御真空チャンバを提供します。全体として、KLA AIT-XUVは、ナノ構造物を詳細に検査するための信頼性と汎用性の高いツールです。高精度で高スループットな解析機能を備え、集積回路や先端材料の微細特性評価に最適です。