中古 KLA / TENCOR AIT XP #9253785 を販売中

KLA/TENCOR AIT XPは、半導体デバイスの高品質な生産を保証するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、厚さ、ドーパント濃度、抵抗率、フィルム均一性、粒子構造、エレクトロマイグレーション、欠陥、パターン構造、ダメージなどの物理的な電気特性を自動的にテストおよび測定することにより、ウェーハの品質を検査および検証するように設計されています。ユニットのコアは、光学顕微鏡、自動ステージ、ロボットハンドラで構成されています。顕微鏡には、挑戦的な光学系、長時間作業距離、および長時間作業距離の目標が含まれています。自動化されたステージは、ウェーハに対してツールを移動させ、ステージ座標とウェーハ傾きの両方を制御することができます。最後に、ロボットハンドラを使用してウェーハを取り出してマシンに配置し、光源を変更/負荷します。さらに、KLA AIT XPには、自動化されたテストおよび測定の分析、ラベルフリーの欠陥検出、カラーフィルタ欠陥検出、オーバーレイ測定および分析、アクティブステルス機能を提供するフルイメージ解析ソフトウェアも含まれています。このソフトウェアは、ハードウェアの速度と精度を活用して、スループットと精度を最大化するように設計されています。このツールはまた、ユーザーに包括的なレポート作成ツールとデータビジュアライゼーションツールを提供します。これらのツールを使用すると、テスト結果を比較して傾向を特定し、ウェーハ制御チャート、故障解析、またはその他のアプリケーションに使用する詳細情報をエクスポートできます。要するに、TENCOR AIT-XPは包括的なウェーハテストおよび計測資産であり、さまざまな自動テスト、イメージング、分析ツールを通じて、高いレベルの精度と品質保証を提供します。このモデルは非常に汎用性が高く、パターン化された構造、欠陥、フィルムの均一性、抵抗性、ドーパント濃度、およびダメージを調査するのに使用することができます。したがって、TENCOR AIT XPは、半導体デバイスの高品質な生産を保証するための最適な機器です。