中古 KLA / TENCOR AIT XP #9204139 を販売中

KLA/TENCOR AIT XPは、高度で業界をリードするウェーハ試験および計測機器です。半導体ウェーハのプロセス解析と歩留まり解析を行うフル機能の観測システムです。これは、高度な光学、画像解析と振動キャンセリングツーリングが装備されています。これにより、高精度の光学測定とウェーハの正確な分析に最適です。KLA AIT XPは、ゾーン結合LED照明ユニットやマルチバンドLED照明装置などの高度な照明機能を備えており、サンプルの明るく均一な照明を提供します。これにより、エッジの定義が向上し、コントラストが改善され、温度や環境条件の変化に応じて画質の劣化が低減されます。TENCOR AIT-XPはまた、光学と画像解像度の両方の再構築に強力なズームオプティクスを使用し、測定精度を向上させます。TENCOR AIT XPには、プロセスおよび歩留まり分析のための幅広い専門機能があります。高度なCD計測（CDM）とPOF （Point-of-Failure）アルゴリズムを提供し、プロセスの異常な挙動を検出し、歩留まり損失の領域を特定します。また、深度精度などのフォーカス固有のsemi-3Dベンチマークを定量化するためのScan MapおよびFocus Map機能や非接触プロファイル機能も備えています。さらに、AIT-XPはKLAとTENCOR Inspection Head Module （IHM）の両方と完全に統合されており、さまざまなIHMモジュールとのインターフェースの中立性を可能にし、柔軟で簡単な統合オプションをユーザーに提供します。KLA AIT-XPには強力な振動キャンセリングツーリングが装備されており、計測中の優れた再現性を提供し、計測ツールへの振動の影響を最小限に抑えます。このマシンは温度制御も提供し、サンプルの測定と再現性の最適化に最適な環境を提供します。さらに、KLA/TENCOR AIT-XPは、KLA/TENCOR PathFinderライブラリのスタンドアロンオートメーション環境で利用できます。これは、包括的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）ツールと堅牢なアプリケーションプログラミングインターフェイス（API）を含む、包括的なオートメーションツールのスイートを提供します。AIT XPウェーハテストおよび計測ツールは、半導体ウェーハのプロセスおよび歩留まり解析のための強力な機能豊富な資産です。高度な照明や光学系から強力なグラフィカルユーザーインターフェイスやオートメーション環境まで、このモデルは信頼性と再現性の高いテストと分析のための高度な機能のフルレンジを提供します。