中古 KLA / TENCOR AIT XP+ Fusion #9145961 を販売中

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ID: 9145961
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2003
Patterned wafer dark-field defect inspection system, 8" System upgraded from AIT2 Wafer shape SNNF (Semi notch no flat) (2) Cassette ports Wafer cassette 8 PP: MIRAIAL KM-803P-K SMIF Interface: No Laser: Argon ion laser for 75mW 487.9nm Spot sizes: 7um, 5um, 3.5um Microscope review objectives: 50x, 100x, 150x Computer: Yes Image computer: Yes Keyboard & floppy disk drive: Yes Power distribution: Yes Wafer handler: 8" Dual open cassette loader: Yes Robot: Yes Prealigner: Yes Blower unit: Yes Currently crated and warehoused 2003 vintage.
KLA/TENCOR AIT XP+Fusionは、半導体ウェーハ製造用に設計されたハイエンドウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、自動ウェーハ検査および計測ステーション(AIT XP)、自動ウェーハソー(Saw 2000)、薄膜計測モジュール(FTM)、可変光学プロファイラ(VPP)で構成されています。AIT XP+は、最大400mmウェーハのテストおよび分析が可能で、従来8インチウェーハでの測定は最大20倍の高速化が可能です。AIT XP+は、イメージング機能、高度な光源露光技術、非接触、高精度の測定を組み合わせたオールインワンウェーハ計測および試験ユニットです。まず、その高度なイメージング機能により、特許取得済みのアルゴリズムを使用したウェーハ検査により、高いスループットと精度を実現できます。第二に、AIT XP+の革新的な光源技術は、ウェーハの極端な端であっても、機能が正確に検出され、測定されることを保証します。第三に、独自のプロファイル統計を持つFTM光源は、信頼性の高い品質管理計測ソリューションを提供し、精度と再現性を提供します。第四に、VPPは、隆起、筆記、テーパー、および表面化学などの地形および化学的特徴の高精度で制御可能な非接触測定を提供します。KLA AIT XP+Fusionは、これらの技術を組み合わせ、迅速かつ正確なウェーハ検査と計測を可能にする強力なマシンです。その高度な装置は、高度なイメージング、照明、計測技術を提供し、より速いサンプル測定と検出精度の向上を可能にします。さらに、統合されたレポートワークフローにより、ユーザーは任意のパラメーターで結果を迅速に分析できます。このツールは、プロセスの歩留まりの向上、スループット時間の短縮、製品の信頼性の向上など、複数の顧客の利点を提供します。さらに、KLAの高度な分析技術を活用したAIT XP+は、比類のないデータ分析とプロセスインサイトを提供します。その結果、TENCOR AIT XP FUSIONは、精度、信頼性、パフォーマンスを保証するための完璧なツールです。
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