中古 KLA / TENCOR AIT UV #9397714 を販売中

KLA/TENCOR AIT UVは、ICメーカー、ファウンドリ、研究者向けに設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。計測、欠陥検査、特性評価機能を単一のプラットフォームに統合し、より高速で高性能な解析を提供します。KLA AIT UVシステムは、単一の低コストのプラットフォームで、ウェーハ基板の電気的、物理的、視覚的特徴を検査、測定、特性評価できます。これにより、ICの製造に使用される材料のコストを最小限に抑えることができます。ユニットには、ウェーハ材料の欠陥や不規則性を検出するための統合された強力な紫外線光源があり、オペレータへのフィードバックのためのアクティブな信号経路を提供します。このマシンのアクティブシグナルパスにより、ユーザーはウェーハを分析しながら、ツールの電源設定、ゲイン、偏光、中性密度フィルタ設定などを制御できます。調整設定は、特定のジョブに従って使用する前に最適化されます。TENCOR AIT-UVアセットは静的および動的測定機能を提供し、即時および長期の測定を可能にします。また、様々な誘電体・導体層の非接触厚さ測定も可能で、難易度の高い金型形状でも正確な膜厚プロファイリングが可能です。このモデルは、パーティクルやスロープのステップなどの非侵入の欠陥を検出することができ、その自動欠陥レビュー、分類、特性評価機能により、不規則性を迅速かつ正確に識別、フラグ付け、分類することができます。KLA/TENCOR AIT-UVウェハテストおよび計測機器は、高度な内部設計とコンポーネントにより、困難な環境でも、時間の経過とともに優れた再現性と安定性を示します。全体として、AIT UVは高度で自動化されたユーザーフレンドリーなプラットフォームであり、ICやその他のコンポーネントを製造する前にウェーハをテストおよび検査する効率的で費用対効果の高い繰り返し可能な方法を提供します。それは製造業者および研究者のための時間、お金および資源を救うことができ、ウェーハのテストおよび計量学のための理想的な選択をします。