中古 KLA / TENCOR AIT UV #9378720 を販売中

KLA / TENCOR AIT UV
ID: 9378720
Darkfield inspection system.
KLA/TENCOR AIT UVは、今日の高度な半導体デバイスの構造特性に関連するさまざまなパラメータを正確に測定するために設計された、主要なウェーハ試験および計測機器です。特許取得済みの技術により、KLA AIT UVはデバイス開発、製造、および信頼性評価のために、より迅速かつ正確な結果を提供します。TENCOR AIT-UVには、高解像度イメージング、高精度、および多くのオートメーション機能が組み込まれており、これまで以上に信頼性の高いデータを迅速に提供します。システムの最先端のイメージングおよび分析機能により、効率的で正確なウェーハテストプロセスを実現します。強力な光学ナノリソグラフィーシステムは、超高精度のオンウェーハ測定を提供し、独自のビーム干渉計(BIM)は優れた3Dトポグラフィ測定を提供します。このユニットの高度なオートメーション機能により、ハイスループットテストが可能になります。KLA AIT-UVのAuto Pattern Recognition (APR)は、テストパターンを認識し、適切な測定パラメータを自動的に割り当て、詳細な結果を安全なデータベースに保存します。品質保証(QA)スイート、VistaQAは、テストデータの精度を分析し、エラーや懸念領域を報告するように設計されています。AIT UVはまた、強力なデータ後処理ソフトウェアのスイートを提供しています。DatapackerMaxソフトウェアは、生データから詳細な特性を迅速かつ正確に抽出するように設計されています。一方、ReviewMaxスイートは、詳細なレポートやグラフィカルなプレゼンテーションを作成するためのパワーと柔軟性を提供します。さらに、このマシンのDatawaveソフトウェアは、さまざまなデータ分析およびモデリング機能を提供します。TENCOR AIT UVの統合ハードウェアおよびソフトウェア技術は、ウェーハテストおよび計測操作において比類のないレベルの精度とパフォーマンスを提供します。使いやすいインターフェイス、自動化されたワークフロー、強力な後処理機能により、ユーザーは信頼性が高く、効率的で費用対効果の高い結果を信頼できます。
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