中古 KLA / TENCOR AIT UV #9285844 を販売中

KLA/TENCOR AIT UVは、ナノスケールレベルでウェーハの電気特性を測定するウェーハ試験および計測機器です。ブレークダウン電圧、抵抗、静電容量などのウェーハ電気特性を自動的に非破壊測定し、同じ高精度で幅広い半導体計測機能を提供します。KLA AIT UVシステムは、いくつかのコンポーネントで構成されています。ウルトラバイオレットカメラセンサーは、半導体の構造を検出するために使用され、個々の構造の自動表示とテストを可能にします。カメラはフィルターを使用してさまざまなUV波長を検出し、正確で再現性のある測定を提供します。単位はウェーハにテストパルスを作成するのに使用される脈拍およびバイアスの制御単位を含んでいます。このパルス電流プローブ構造（PCPS）は、ブレークダウン電圧や充電回収などの半導体特性をリピート周期で正確に検出および測定することができます。TENCOR AIT-UVは、フルエリアイメージング、部分エリアイメージング、ラインスキャンイメージング、イメージステッチなど、多くのイメージモードで動作します。各イメージモードには、特定のアプリケーションに応じて、独自のスキャンがあります。例えば、ウェーハ上の1つのデバイスの性能を測定するために、部分領域イメージングが使用されます。ラインスキャンイメージングは、チップセットなど複数のデバイス要素を持つウェーハの電気特性を測定するために使用されます。画像ステッチは、より大きなウェーハ構造のために使用され、画像をサブスキャンに分割して詳細を達成します。このマシンのグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）は、データをリアルタイムで可視化し、ウェーハテスト条件の影響を受けます。解析は、このツールのマルチチャネル処理機能によってスピードアップされ、ユーザーは画像をレビューし、分析戦略を編集しながら、複数のチャネルで測定を行うことができます。Advanced Intelligent Test （AIT）機能を使用すると、テスト結果や推奨事項を自動分析して、設定や実験条件を調整できます。結果はシームレスに保存し、さらなる研究のために採掘することができます。AIT UVは、ウェーハ構造を正確に電気的に測定するために使用される強力な資産です。その高度な機能により、正確な画像処理が可能になり、ユーザー中心の設計により、正確で反復可能で信頼性の高いデータが提供されます。半導体の研究、設計、製造に最適な試験および計測モデルです。