中古 KLA / TENCOR AIT UV #9228297 を販売中

KLA/TENCOR AIT UVは、半導体デバイス内の微細構造および高度な材料特性の高精度かつ正確な試験および測定を提供するように設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、強力な紫外線（UV）光源で真空環境でウェーハをスキャンし、材料による光の吸収を測定することによって動作します。スキャンは、紫外線ビームの高速でスパートを使用して超高速で行われ、時間の経過とともに変化する異なるレーザー光源によって正確に配置され生成されます。検出器の配列は、材料の品質、複雑さ、特徴を評価するために、スキャンウェーハから特定の測定値を取得します。KLA AIT UVシステムは高度に構成可能であり、幅広いラボおよびプロセスアプリケーションを可能にします。これには、欠陥検査、歩留まり解析、3D降伏マップ、オーバーレイ、ウェビング、インダイ電気試験などのさまざまな機能を備えた強力な高度な計測プロセスを作成する機能が含まれます。このユニットは、レンズ、屈折器、ビームスプリッタキューブなどのさまざまな光学部品と結合してカスタム測定を取得することもできます。TENCOR AIT-UVは、騒音と安定性を考慮して設計されており、騒音のない状態での材料のスキャンを可能にするAIT （Advanced Image Test）技術を搭載しています。これは、高度な信号解析技術と有用な信号からのノイズの分離によって達成されます。これにより、測定精度が向上し、データ結果が向上します。TENCOR AIT UVは、最高レベルのサンプル安定性と試験精度をユーザーに提供するために、低熱ドリフト機能を備えており、長時間でも一貫した材料コンディショニングを維持できます。さらに、最新のデータ収集とデジタル化技術を利用して、異なるサイズの材料から正確で高解像度のデータを取得します。AIT-UVマシンは、デバイスの簡単な操作と制御を可能にする直感的なユーザーインターフェイスを備えています。これは、実行中に必要に応じてパラメータを正確に変更できる自動制御ツールで設計されており、さまざまなデータ出力オプションを提供します。さらに、リアルタイムパフォーマンスディスプレイを備えており、採点済みレポートとグラフィカル表示によるテストの進行状況を監視します。これらのすべての機能により、KLA/TENCOR AIT-UVは、半導体デバイスおよび材料向けの強力で信頼性の高いウェハテストおよび計測ソリューションとなります。精度、速度、柔軟性、および幅広い用途に適した包括的な測定機能をユーザーに提供します。