中古 KLA / TENCOR AIT UV+ #9228106 を販売中

KLA/TENCOR AIT UV+は、紫外線を使用してウェハ表面のパターンを正確に測定するウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、光学顕微鏡の約40倍の視野で、比類のない精度を提供します。非常に精密な測定を行うことで、光学顕微鏡で見るには小さすぎる構造の欠陥を特定することができます。機械の中心には、高度な光学設計があります。このデザインは、UVイメージングの非常に高い解像度を可能にするボールレンズマッピングと呼ばれる特許取得の光学技術を使用しています。このツールは、一連のレンズとミラーを使用して、ウェーハによって放出された光を収集してフォーカスし、その光を3つのカラーバンド（UV、可視ブルー、可視グリーン）に分割します。デジタルCCDカメラは、サンプルの詳細な画像を生成するために、カラーバンドのそれぞれの画像を別々にキャプチャします。KLA AIT UV+は、さまざまな計測機能を実行することもできます。ウェーハ上のさまざまな構造の幅と間隔を測定できるキャリブレーションアームを装備しています。また、ウェーハ上の特徴を0。01ミクロン以下の解像度で測定できる自動機能抽出エンジンを搭載しています。この自動アセットを使用することで、製造プロセスの表面欠陥を迅速に特定、検査、修正することができます。TENCOR AIT UV++モデルは非常に高速で効率的です。比類のない精度とリアルタイム解析機能により、ウェーハ表面の構造を迅速かつ正確に評価できます。自動化されたフィーチャー抽出エンジンにより、ユーザーはサーフェスを迅速かつ正確に検査することができ、最高の精度とスループットを得ることができます。この装置は使いやすく、半導体業界の変化するニーズに対応するために必要な柔軟性と機能性を提供します。