中古 KLA / TENCOR AIT UV+ #9228059 を販売中

KLA/TENCOR AIT UV+は、半導体デバイスの製造におけるプロセス制御のための分析とフィードバックを提供するように設計されたウェーハ試験および計測機器です。高度なUVイメージング技術を活用し、高解像度の画像を生成して精密な解析を行います。このシステムは、1。5インチから最大12インチまでの幅広いデバイス製品サイズをサポートする幅広い計測機能を提供します。UV+は、低温蒸着プロセスにおいて、充電結合デバイス（CCD）と高出力紫外線（UV）照明の両方を利用したマルチカメラユニットを採用しています。カメラのこの組み合わせは、0.36µmまでの機能のイメージングを可能にし、2Dまたは3Dイメージングモードに設定することができます。この機械は、地形、応力、幾何学、オーバーレイ、オーバーレイ登録、反射率レベル、接触抵抗率、材料層など、いくつかのパラメータを測定するために使用できます。このツールには、完全に自動化された解析および分析のための自動認識ツールとプロバーソフトウェアがあります。アセット用のソフトウェアにより、カスタム操作をプログラムして、ウェーハテストと分析の特定のタスクを実行できます。このモデルは、特殊なアルゴリズムを使用して、粗さ、ボイド、パターンシフト、ブリッジング、欠落している機能などのパターン欠陥を検出する、高度なウェハ検査機能を備えています。また、カーボンナノチューブや不揮発性メモリデバイスなどの高度な材料や高度な回路を検査することもできます。また、分析手法を使用して、エッチング速度、閾値電流、トランジスタ特性、スタッキング分散などの他の材料関連機能を検出および測定することもできます。この装置は、ウェーハの歩留まりとプロセス制御を向上させるクリーニングとハンドリング機能を備えています。また、ウエハハンドリングを自動化するハンドリングプロセスも内蔵しています。このシステムには、プログラム可能なターゲットIDのような機能があり、製造および診断操作の高度なロギングをサポートします。全体として、KLA AIT UV+は、高度な半導体製造におけるプロセス制御および分析のための幅広い機能を提供する、強力で包括的なウェハテストおよび計測ユニットです。最適な最終製品品質を保証するために、調整可能な柔軟性を備えた高精度で再現性の高い測定を提供します。