中古 KLA / TENCOR AIT UV #9211161 を販売中
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ID: 9211161
Wafer inspection system
Assy pillar AIT-UV
Raid array: (3) Hard disks
Robot type: BROOKS / PRI AUTOMATION ATM207-2-S-CE
Controller type: PRI ESC-212B
Setup disk P/N: 524140
PO Configuration:
AIT-Fusion UV final assy group
Advanced collection optics configuration with UV illumination
Adaptive mode
Technology:
Multi-spot optics: 2.2um,3.5 um and 5.0um Spot sizes
Automatic coordinate registration and alignment
Region based multi-threshold capability (RBMT)
Core technology Package
AIT Standard detection algorithms
Advanced detection algorithms
HLAT
Channel merge
Run time alignment
iADC and RTC Real time classification systems
Run time sampled image acquisition
Internal optical review microscope:
Includes:
(5) Microscope review objectives: 5x, 10x, 50x, 100x, 150x
Bright field and dark field review modes
Autofocus capability
Integrated ULPA filter package
High resolution color flat panel display
Supports LAN connectivity over 10/100
Base-T and BNC (10 Base-2) connectors
Operations / Reference manual
KLARF File output
External panels, cleanroom white
HSMS Interface
Signal tower
(4) Colors: RYGB, standard mount 8"
Real time classification (RTC) package
Options:
Art dual open handler, 8"
iADC Option
Power supply: 208V, 3-Phase WYE
Short circuit load: 65kVA @ 208V
Full load: 75A
Operating system: Windows NT 4.0 file and printer connections (Supports).
KLA/TENCOR AIT UVは、クラス最高の精度とウェーハ試験結果の再現性を提供するために設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。高度な光学技術と照明技術を駆使し、ウェーハ計測のための精密な光学特性評価を提供します。このシステムは、金型厚、球面半径、平均表面粗さなど、さまざまなウェーハメトリックを測定するように設計されています。KLA AIT UVは、平面面と円筒面の両方を測定することができ、最大12インチの広い表面積を持つテストサンプルを処理することができます。ユニークなのは、高精度と超精度を両立させることです。wih両面ウェーハチャックステーションを装備しており、手動ウェーハスイッチングが不要です。また、2つの光学センサーと高解像度カメラを備えており、迅速かつ効率的に精密な結果を保証します。このマシンの高度なハードウェアにより、曲線継手やパラメトリックサーフェスフィッティングなどの高度なデータ解析技術も可能になります。TENCOR AIT-UVは、最大4つの超高速モーションモジュールで拡張可能で、シングルウエハまたはバッチデータ取得からのデータの大規模な分析に最適です。AIT UVは、高度な光学および照明技術に加えて、ウェーハテストを簡素化し、テストカバレッジを向上させるための統一されたデータセット交換を可能にするインテリジェントなオートメーションアーキテクチャを備えています。KLA標準のデータ収集ソフトウェアと完全に統合されているため、ツールのテスト結果に簡単にアクセスして分析できます。この資産には、高度な監視ツールとステータスLEDも装備されており、迅速かつ簡単なトラブルシューティングと自動ログ生成を可能にします。KLA/TENCOR AIT-UVは、最高レベルのウェハテストと計測モデルで、ユーザーに精度と再現性の両方を提供します。完全に自動化されたウェーハテストと高度な計測ソフトウェアを組み合わせて、完璧な結果を提供し、ウェーハの歩留まりを最大化し、再作業によるコストを最小限に抑えます。装置の拡張性により、より大きなサンプルとデータセットのテストと分析も可能になります。簡単に言えば、AIT-UVは最適なウエハテスト性能を保証するように設計されています。
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