中古 KLA / TENCOR AIT UV #9147837 を販売中

KLA/TENCOR AIT UVは、自動ウェーハ試験および計測のための高度な検査技術（AIT）装置です。AITシステムは、品質管理のために半導体ウェーハ表面の最小欠陥を特定し、測定するという課題に対処するために設計されています。KLA AIT UVは、紫外線と高度な画像処理アルゴリズムを活用し、半導体ウェーハの表面を最高レベルの精度で検査する独自のシステムです。このユニットは、インシデントと反射光を同心円状に配置し、アプリケーションやニーズに応じて検査プロセスの速度を選択することができるウェーハの各側の画像をキャプチャする2つの高解像度カメラを使用しています。カメラは、複雑な2D画像を生成し、ウェーハ上の潜在的な欠陥を検出、分類、測定するための独自のアルゴリズムを適用するオンボードイメージプロセッサにこれらの画像を転送するように構成されています。キャプチャされた画像は、専用ソフトウェアを使用してさらに保存および分析することができます。また、高度な光学経路を備えており、1ナノメートルの精度まで欠陥を検出することができます。高度な光学レンズを使用して、ウェーハの非常に詳細なUV画像を近距離で投影し、最大精度の短い作動距離を提供します。薄膜、粒子、その他の汚染物質をコーティングしたウェーハを検査したり、層に欠陥を表示したりすることができ、幅広い欠陥分類機能を提供します。TENCOR AIT-UVは、検査プロセスを容易にするための幅広いオートメーション機能も備えています。リアルタイム欠陥特性評価、パターン認識、およびウェーハ選別制御は、ウェーハ製造およびプロセス監視の幅広いアプリケーションに役立つ機能の一部です。さらに、堅牢なオートメーション機能により、再現性のあるテストおよび測定プロセスを提供し、オペレータはスループットを向上させ、人件費を削減できます。最後に、直感的なユーザーインターフェイスにより、ウェーハ検査プロセスが簡単に設定および操作でき、ソフトウェア統合によりツールと他の産業機器との互換性が容易になります。このアセットは、半導体業界で要求される最高水準の性能を満たすように設計されており、高解像度イメージング、顕微鏡分解能、オートメーションの組み合わせにより、ウェーハ試験および計測に最適なソリューションとなっています。