中古 KLA / TENCOR AIT UV #9099586 を販売中

KLA/TENCOR AIT UVは、紫外線（UV）光源を使用して半導体ウェーハを検査および分析するウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、集積回路、メモリチップ、トランジスタなどの電子部品の製造に使用されます。試験ユニットは、サンプルの物理的および光学的特性を検査および評価する特別に設計された大型特性評価モジュールを使用しています。KLA AIT UVマシンは、製造されているウェーハの範囲に合わせたUV光源を利用しています。光源は、高精度の計装パッケージと組み合わせて使用されます。測定装置は、厚さ、シート抵抗、表面地形、汚染、反射率、ドーピング濃度などのパラメータを備えています。計装パッケージには、絶滅係数、全透過率、反射率、吸収率などのサンプルの光学特性を測定する機能もあります。このツールは、デバイス構造や機能の解像度を測定するための高度な光学イメージングアセットで構築されており、高解像度の画像を提供することができます。さらに、高感度光検出器や画像取得装置を搭載し、必要な画像をキャプチャします。装置構造および特徴の正確な測定そして位置を容易にするために特別な紫外線顕微鏡は装置に設計されています。この顕微鏡は、25ミクロンの深さまで複数の視野をスキャンすることができます。TENCOR AIT-UVウエハテストおよび計測システムは、さまざまなサンプルタイプの特性評価も可能です。コーティング、メガネ、誘電体の光学特性を測定することができます。サンプル表面構造のサブミクロン振幅周波数特性を測定できる最先端のイメージングマシンも搭載しています。最後に、このツールは、測定結果を迅速かつ正確にキャプチャ、分析、およびレポートするための高度なソフトウェアと統合されています。このソフトウェアは直感的なユーザーインターフェイスを備えており、ユーザーはリアルタイムで測定を監視し、テストデータを管理することができます。データ処理および分析ツールは、予測および高度な品質分析にも使用できます。結論として、AIT-UVは、サンプルの物理的および光学的特性を迅速かつ正確に評価するために紫外光源を使用する包括的なウェハテストおよび計測資産です。これは、サンプルを確実に特性評価し、予測および高度な品質分析のための測定データを収集するための高度な機器、イメージングシステム、およびソフトウェアのスイートが装備されています。