中古 KLA / TENCOR AIT UV #9083786 を販売中

KLA / TENCOR AIT UV
ID: 9083786
ウェーハサイズ: 6"
Defect Inspection system, 6".
KLA/TENCOR AIT UVは、重要なリアルタイム欠陥データの収集、分析、報告を可能にする革新的なウェハテストおよび計測機器です。半導体ウェーハの高度な自動検査を提供し、微細構造の検出と測定に最適です。KLA AIT UVは、ウェーハテスト、計測、インライン制御、欠陥測定を1つのユニットに統合した強力なマシンです。これは、ウェーハ表面をチェックし、測定するために高度な光学およびスキャン技術を使用しています。自動化された機械は、高速で信頼性の高い測定を高精度で提供し、個々のフィルム、複数の層で構成されたフィルム、およびパターン化されたウェーハ表面を検査することができます。このツールの独自の光学スキャン技術と自動欠陥認識および選択機能により、サイズ、形状、位置情報による欠陥の検出と測定が可能になります。この情報を使用して、生産中のウェーハの進捗状況を監視し、歩留まりを最大化することができます。さらに、TENCOR AIT-UVには、ユーザーが資産の測定プロセスをカスタマイズできるソフトウェアが含まれています。このソフトウェアは、欠陥の検査と測定のためのパラメータの選択を容易にし、過去と現在のウェーハ情報とデータを簡単に比較することができます。KLA/TENCOR AIT-UVには、包括的なレポート機能も付属しています。これには、検査および計測結果の詳細な分析と、エンドユーザーが必要なときに必要な情報を提供できるようにするための広範なレポート形式が含まれます。全体として、TENCOR AIT UVは、光学的に高度なスキャンと自動欠陥認識の組み合わせを提供する高度なウェーハテストおよび計測モデルです。高精度で信頼性の高い測定を提供し、半導体ウェーハの生産における最大の歩留まりを実現します。さらに、この機器には、ユーザーの便宜のためにカスタマイズされたソフトウェアとレポート機能が含まれています。
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