中古 KLA / TENCOR AIT UV #9054841 を販売中

KLA/TENCOR AIT UVは、半導体産業に完全なソリューションを提供するウェーハテストと計測のための高度なツールです。ハイエンド光学、モーションコントロール、および半導体技術を使用して、さまざまなウェーハの電気的、物理的、および光電子的特性を評価します。ウェーハ測定および計測装置は、いくつかの測定技術を組み合わせて、ウェーハの歩留まり、性能、信頼性を決定します。このシステムには、スペクトル測定、電気インピーダンス測定、電子ビーム誘導電流（EBIC）測定、静電容量電圧（CV）測定、電気的フィールドプロファイリング（EFP）、光干渉測定（OIM）などの高度な測定ツールと技術が含まれています。これらの測定機能は、厚さ、シート抵抗、ドーパントプロファイル、欠陥のサイズと位置など、ウェハの電気的および物理的特性に関する正確かつ詳細な情報を提供するために使用されます。ユニットが提供する高度なウエハマッピング機能により、幅広い空間スケールで個々のウエハを迅速かつ正確に検査できます。この機械は汎用性が高く、熱膨張や弓の係数が異なる基板など、さまざまなウェハ仕様に対応できます。ウェハマッピング機能には、ナノメートル精度のウェハのリアルタイムアライメントと解像度が含まれます。このツールは、メインビーム光学計測を提供する強力な紫外光源を備えた閉じたループと、二次ビーム計測用のCO2レーザーを使用しています。アセットには、一度に最大200個のウェーハを処理できるインラインウェーハローディングモジュールもあります。また、素子解析ユニット、光学素子のフォーカス・位置決め用の精密モーションコントロール装置、高速信号プロセッサ、高速データ収集システムなどを搭載しています。要約すると、KLA AIT UVウエハテストおよび計測ユニットは、いくつかの高度な技術を使用して、さまざまなウエハの正確な測定と分析を提供します。強烈な紫外線光源を持つクローズドループ機、要素解析ユニット、モーションコントロール、高速データ収集ツールを備えています。さらに、ユーザーが個々のウェーハを迅速かつ正確に検査できるように、迅速かつ正確なウェーハマッピング機能を提供します。