中古 KLA / TENCOR AIT III #293814774 を販売中

KLA/TENCOR AIT IIIは、正確で信頼性の高い結果を提供する包括的で高性能なウェーハ試験および計測機器です。このシステムには、高速ウェーハ位置決めユニット、自動欠陥分類とウェーハレベルレビューを備えた強力な計測機、および結果を保存するための強力な統合データベースが含まれています。KLA AIT IIIのウェーハ位置決めツールは、粗いウェーハ操作と細かいウェーハ操作の両方に優れた精度と精度を提供します。最大200mmのサイズのウェーハを取り扱うことができ、円、線形経路、または2次元の位置決めとより高速なウェーハスループットのための角度の組み合わせでウェーハを移動することができます。アセットはまた、柔軟なアライメントとアライメント検証プロセスを可能にします。TENCOR AIT IIIの計測モデルには、光学走査、電子顕微鏡、X線光電子分光（XPS）などの高性能技術が組み込まれています。この高度な計測ツールは、超低およびナノスケールの寸法の潜在的な欠陥を検出するために、広範なパラメータにわたってナノメートルからミクロンまでの正確な測定を行うことができます。各テストの結果は、オペレータがさらに分析するためにアクセスできる統合データベースに整理され、保存されます。AIT IIIは、計測およびウェーハ位置決めシステムに加えて、洗練された欠陥分類およびウェーハレベルのレビュー機能も備えています。高度なアルゴリズムとパターン認識技術を使用することで、装置はさまざまな潜在的な欠陥をすばやく特定して分離し、それらを定義済みのカテゴリのセットに分類することができます。この強力な欠陥分類システムは、オペレータが潜在的な問題をすばやく特定して対処するのに役立ち、ウェーハの納期が短縮され、ウェーハの認定率が向上します。全体として、KLA/TENCOR AIT IIIはウェハテストと計測に非常に便利なツールです。高度なウェーハ位置決め、計測、欠陥分類機能により、幅広い潜在的な欠陥を識別および分離し、さまざまなパラメータを正確に測定できます。さらに、統合されたデータベースにより、テスト結果への容易なアクセスが可能になり、柔軟なアライメントおよびアライメント検証プロセスにより、最高レベルのウェーハ性能が得られます。