中古 KLA / TENCOR AIT II #9387208 を販売中

KLA/TENCOR AIT IIは、高度なウェーハ試験および計測機器です。非接触光計測を可能にし、ウェーハ検査において高い生産性と精度を実現します。さらに、精度と再現性を高める革新的なビームライン技術を備えています。このユニットは、表面欠陥、汚染物質、およびパターン内の欠陥などの微細な特徴を非常に高精度で検出することができ、ウェーハ生産の品質を確保するのに理想的です。KLA AIT IIは、コンパクトな光学計測ツールと、パラメータ設定、光アライメント、データ収集のための包括的な制御装置で構成されています。このツールは、線形スケールのX-Y-Z変換を利用して、3次元イメージングを可能にします。この技術は、0。5ミクロンまでの画像解像度で幅広いパターンサイズをスキャンすることもできます。これにより、肉眼では見つかりにくい不完全さを検出することができます。この資産には、画像忠実度と画像処理速度を向上させるためのいくつかの革新的な技術が組み込まれています。これらには、高度な自動焦点メカニズム、冗長光源、ビームラインオプティクスのセット、ビームパス制御およびオートインテンシブバランシングが含まれます。レーザーオートフォーカスは、静的および高速イメージングアプリケーション向けに高精度で拡張されたダイナミックレンジを提供します。冗長光源は、照明冗長性と一貫した画像輝度を提供します。ビームラインオプティクスは、高精度な短波長イルミネーションにより、広域画像と高解像度画像を提供します。ビームパス制御により、広い表面領域でのワイドフィールド測定が可能になり、迅速な反復と画像取得速度が得られます。オートインテンシブバランシングは、画像領域全体にわたって一貫した正確な照明を提供します。これらの技術を組み合わせることで、優れた画像忠実度とサンプル認定のスループットが向上します。TENCOR AIT IIウェーハテストと計測モデルは、ウェーハの検査と生産のための堅牢で信頼性の高いプラットフォームを提供します。この装置の先進技術は、比類のない画像忠実性を提供し、オペレータの関与を最小限に抑えて正確かつ正確な測定を可能にします。高度な光学計測機能により、生産アプリケーションに最適です。