中古 KLA / TENCOR AIT II #9284347 を販売中

KLA / TENCOR AIT II
ID: 9284347
Defect inspection system.
KLA/TENCOR AIT II (Atomic Information Tools)は、マイクロエレクトロニクスの信頼性とプロセス制御のために設計された高度なウェハテストおよび計測システムです。複雑な半導体デバイスのテストを自動化し、デバイスの劣化を正確に分析し、短期および長期の信頼性を評価することができます。KLA AIT IIは、最先端の光学、電気、機械技術を活用して、オンライン、インライン生産監視、プロセス制御を行います。TENCOR AIT IIの光学測定機能には、表面粗さを測定するレーザー反射計、薄膜の収縮と反りを測定するせん断装置、光源を測定する赤外線画像システム、デバイス表面の特徴を測定する臨界次元ステーション、デバイスの構造を分析する走査型電子顕微鏡などがあります。AIT IIの電気機能には、デバイス特性を測定するための電気プローブステーションと、デバイスラインのライン抵抗、容量、インダクタンスを測定するためのインピーダンスメータが含まれます。KLA/TENCOR AIT IIの機械的機能には、パッケージの歪みを測定するねじれステージ、振動誘発応力を測定する振動ステージ、ダイアタッチ応力を測定する曲げ治具が含まれます。KLA AIT IIのソフトウェアスイートは、不揮発性RAM、 EEPROM、 Flash、 NOR、 NANDメモリ、ROMおよびROMバス、マイクロプロセッサ、その他の電子部品からの制御、通信、データ収集用に設計されています。また、生産設定でプロセス制御システムと統合する機能も提供します。自動テストシーケンスを実行し、カスタマイズされたレポートを提供することができます。TENCOR AIT IIは、統計的なプロセス制御ツールを使用して生産プロセスを監視することもできます。内蔵のアルゴリズムは、保存されたデバイスデータを時間をかけて監視し、プロセスのドリフトとバリエーションを検出します。さらに、予測モデリングでは、デバイステンプレートデータを使用してプロセスドリフトを決定し、将来のデバイスパフォーマンスを予測します。これにより、エンジニアは仕様条件をすばやく特定し、是正措置を講じることができます。AIT IIは、複数の言語をサポートするように構築されており、安全で追跡可能なデータと記録保持を提供します。ユーザーフレンドリーなインターフェイスとモジュール設計により、システムの構成、保守、トラブルシューティングが容易になります。KLA/TENCOR AIT IIは、大規模なサンプルセットと市場投入までの迅速な時間にわたって高い精度を提供します。KLA AIT IIは、高品質で高付加価値の生産プロセス制御に最適な選択肢です。
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