中古 KLA / TENCOR AIT II #9281087 を販売中

KLA/TENCOR AIT IIは、最先端のウェーハ試験および計測機器です。さまざまなウエハレベルの検査タスクに、高いスループットと精度を提供します。KLA AIT IIは、高度な光学系、高精度モーションコントロール、ソフトウェアにより、ウェーハに印刷されたパターンの高速で信頼性の高い計測とテストを提供します。TENCOR AIT IIはフルフィールドイメージング機能と走査型電子顕微鏡（SEM）を組み合わせたハイブリッドシステムです。ウェーハ表面に印刷されたパターンの幾何学的形状、サイズ、位置、分布、層の厚さを測定するように設計されています。このユニットは、1時間あたり5000-10000ウェーハ（WPH）の速度でテストすることができます。AIT IIは、最大4台のカメラを搭載した光学検査モジュールを内蔵しています。カメラは、ウェーハ画像をキャプチャし、パターンサイズを測定するために使用されます。パターンが測定された後、それが所望のプロセス仕様を満たしているかどうかを判断するために一連の標準と比較されます。機械のソフトウェアは、線幅測定、シート抵抗測定、粒度測定など、さまざまな分析オプションも提供しています。このソフトウェアは、欠陥パラメータを定義し、重要な寸法を制御するためにも使用できます。さらに、ウェーハの地形を測定するために使用される統合スキャン電子顕微鏡（SEM）を備えています。これは、最適なプロセス制御を確保するだけでなく、任意のプロセスの障害を理解するのに役立ちます。SEMはまた、処理されたウェーハ表面に存在する汚染物質または金属膜の存在を正確に検出します。全体として、KLA/TENCOR AIT IIはウェーハテストと計測に最先端の機能を提供します。KLA AIT IIは、高精度な運動制御システム、高度な光学系、パターン解析ソフトウェア、および統合スキャン電子顕微鏡を備え、プロセス制御および欠陥検出に最適です。