中古 KLA / TENCOR AIT II #293595222 を販売中

ID: 293595222
Defect inspection system Dual cassette, 8" with SECS II.
KLA/TENCOR AIT IIは、半導体業界向けに設計された最先端の自動インラインウェーハ試験および計測機器です。205、300、 450mmなど様々なウエハータイプに対応しています。臨界寸法(CD)、膜厚、エッチング深さ、酸化物厚さ、化学機械平坦化(CMP)プロセスモニタリングなど、幅広いパラメータで信頼性の高い正確な測定を提供します。このユニットは、光学イメージング、散乱計測、計測技術を組み合わせて、複雑な半導体構造を正確に測定します。このマシンは、高度な信号処理アルゴリズム、データ駆動型パターン認識ソリューション、高度な機械学習と統合されています。これらの技術を使用して、手動測定よりも正確で包括的なデータを迅速に提供します。このツールはまた、包括的なソフトウェアツールとデータ分析ツールと統合されており、重要なプロセスと品質指標を迅速に評価する機能をユーザーに提供します。KLA AIT IIは、高精度で信頼性の高いハイスループットテストソリューションも提供します。調整可能なLOS (Line-of-sight)とAOI (Angle-of-Incidence)機能を備えており、ユーザーはCD測定を最適化できます。また、粒子、破片、変色など、ウェーハ表面の特徴や欠陥を識別することができます。これは、収益損失につながる可能性のある不整合や不正確なリスクを軽減するのに役立ちます。TENCOR AIT IIは、モジュール式でアップグレード可能なアーキテクチャにより、プロセス開発から生産まで、効率的で費用対効果の高いテストソリューションを提供します。リモートサポート機能だけでなく、簡単な操作とメンテナンスのためのカスタマイズ可能なユーザーフレンドリーなインターフェイスも提供しています。また、DfX、 SPC、 Advanced Process Control (APC)など、幅広いプラットフォームを備えています。AIT IIは、革新的で強力なウェーハテストと計測モデルです。これは、半導体業界に信頼性が高く、正確で費用対効果の高いソリューションを提供するように設計されています。高度な信号処理アルゴリズム、データ駆動型パターン認識ソリューション、高度な機械学習機能により、正確な測定と優れた品質管理を実現します。さらに、柔軟なアーキテクチャ、カスタマイズオプション、リモートサポート機能により、効率的で費用対効果の高いテストソリューションを提供します。
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