中古 KLA / TENCOR AIT I #9173474 を販売中

KLA/TENCOR AIT Iは、複雑な半導体デバイスに正確な結果を提供するように設計されたウェーハ試験および計測機器です。高度なソフトウェアアルゴリズム、テストパターンライブラリ、統合テストプラットフォームを使用して、テストプロセスを自動化および最適化します。このシステムは、ウェーハおよび基板の製造を支援し、安定した試験フローと動的試験フローの両方を修飾します。KLA AIT Iは、デバイス製造中または製造後に、微小な欠陥または製造エラーを検出するための高度なイメージングおよび反射率測定の高度な技術を取り入れています。また、光学顕微鏡、表面チャージアナライザ、HDTV/SEM顕微鏡を備え、新しい材料や曲面形状を特徴付けます。輪郭、厚さ、高さ、結晶格子寸法などのパラメータを測定するように設定できます。また、TENCOR AIT-Iは、エッジ検出やテクスチャ分析などの高スループット画像解析を統合し、迅速かつ定量的な計測データを提供します。この機能は、プロセスのサイクル時間を短縮し、ウェーハの歩留まりを向上させるのに役立ちます。KLA AIT-Iユニットは、フォトマスクの欠陥、リソグラフィ層の欠陥、着信ウェハのテスト応答をリアルタイムで監視することができます。さらに、マスク間の比較を合理化するために、半自動アライメントおよび登録機能を利用できます。スタッキングからSOI基板まで、幅広いウエハ素材に対応しています。さらに、KLA/TENCOR AIT-Iは、堆積、リソグラフィ、エッチング、計測などのさまざまなバックエンド工程とのクロスプラットフォーム通信を容易にします。これは、オンラインとオフラインの両方の品質管理のための各プロセスステップ中に計測データを提供します。AIT Iは、包括的なデータ分析のための強力なソフトウェアツールを提供します。これらのツールにより、ドリルダウンとレジシティマッピングが可能になり、テスト結果の全体的な確率分布が得られます。さらに、単一のテスト環境内でさまざまな操作で使用される複数のテストソフトウェアパッケージを統合できます。AIT-Iは、メモリ、ロジック、組込みデバイスで使用される微細なラインパターンの開発など、高度なアプリケーションをサポートするように設計されています。テスト精度と再現性を厳しく制御することで、大量生産時のウェーハ歩留まりの向上とフェイルレートの低減をさらに実現します。