中古 KLA / TENCOR AIT Fusion #9273897 を販売中

KLA/TENCOR AIT Fusionは、完全なウェーハ検査ソリューションを提供する高度なウェーハテストおよび計測機器です。このシステムは、地形、電気特性、構造特性など、幅広いウエハレベルのパラメータを評価するように設計されています。複数の正確な光学計測技術と高度なソフトウェアを組み合わせ、信頼性の高い正確な測定レベルを提供します。KLA AITフュージョンユニットは、ウェーハプラットフォーム、イメージングマシン、計測部品で構成されています。これにより、直径200mmまでのウェーハの地形と物理特性を同時に測定することができます。これらの測定は、表面および内部の欠陥を検出し、歩留まり、プロセスの均一性、およびウェーハジオメトリを評価するために使用できます。このツールは、ウェーハのさまざまな表面の画像を異なる倍率でキャプチャするために使用される高度な光学アセットを利用しています。高解像度のイメージングと高度なアルゴリズムを組み合わせることで、従来の自動検査では検出できなかったウェーハ上の表面欠陥や下面欠陥などの欠陥を検出・解析することができます。また、ウェーハプローバーを使用したウェーハの電気的特性を非接触かつ非侵襲的に測定することもできます。ウェーハプローバは、ウェーハレベルの機能の自動検査と特性評価のために特別に設計されています。ウェーハプローバは、ユーザーが異なるコンテキストでウェーハのインピーダンス、容量、抵抗、漏れ電流、電力消費、およびその他の電気パラメータを測定することができます。このユニットはまた、データ分析と処理のためのソフトウェアツールのスイートを提供しています。プロファイルデータの自動処理、解釈、カスタムレポートの生成、データマイニングなどの分析機能が含まれます。このソフトウェアは、2番目のトレンド分析と歩留まり最適化データを取得するためにも使用できます。TENCOR AITの融合機械は半導体産業の研究そして生産の両方のために広く利用されています。ウェーハテストと計測のための強力で汎用性の高いツールをユーザーに提供し、現代のウェーハの表面および電気特性を比類のない精度と信頼性で迅速かつ正確に分析することができます。