中古 KLA / TENCOR AIT Fusion #9211135 を販売中

KLA/TENCOR AIT Fusionは、半導体ウェーハ製造に使用されるウェーハ試験および計測機器です。KLAとTENCORの2つの主要企業から成る2つのコンポーネントを組み合わせ、包括的なソリューションを作成することで「、ワンサイズのすべて」のニーズを満たしています。KLA AIT Fusionは、KLA/TENCORの機能豊富な自動光検査プラットフォームとKLAのウェハレベル計測システムを組み合わせています。これらのコンポーネントが連携して、ミクロン精度のデバイスの高解像度、欠陥のない測定を可能にする包括的な監視およびデータ分析ユニットが作成されます。本機の中核となるのは、マイクロクラッキングやボイドなどの幅広いウエハー欠陥を検出できるカメラベースのイメージングツールです。このアセットは、TENCORのウェハレベル計測モデルと組み合わされており、ダイレベルの電気パラメータを正確に測定することができます。これら2つのコンポーネントを統合することで、単一のウエハ上のデバイス特性と欠陥を同時に測定およびレビューできます。TENCOR AIT Fusionは、2つのコンポーネントからデータを処理するための高度なポストプロセス分析機能を提供します。この解析により、欠陥タイプ、デバイスの歩留まり、プロセスパラメータなどの幅広いパラメータを評価できます。さらに、統計プロセス制御（SPC）とレポート生成を容易にするための一連のツールも提供しています。AIT Fusionは、ウェーハ製造の開発段階と製造段階の両方に適しています。ウェーハ検査のレビュープロセスを同時に可能にしながら、正確で包括的で効率的な測定方法を提供します。このコンポーネントと機能の組み合わせにより、KLA/TENCOR AIT Fusionは半導体デバイス製造に使用するための魅力的なオプションとなります。