中古 KLA / TENCOR AIT Fusion XUV #9250962 を販売中
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販売された
ID: 9250962
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
Darkfield wafer inspection system, 12"
Handler:
(2) Load ports: ASYST Isoport with FOUP
BROOKS Robot and controller
Main body:
Light source: 90mW UV Laser
Function: DBS, SE
Component: Pillar and blower
2004 vintage.
KLA/TENCOR AIT Fusion XUVは、最高の効率で正確で正確な結果を提供するように設計された高度なウェーハテストおよび計測システムです。このシステムは、計測SEM (Scanning Electron Microscope)とウェーハ検査ツールという2つの必須機器を組み合わせています。Metrology SEMは、超高解像度イメージングおよび非破壊的なサブサーフェステスト機能を提供します。これにより、ウェーハ表面の詳細な微小分析および計測を行うことができます。ウェーハ検査ツールは、半導体ウェーハの表面を迅速かつ敏感に測定するX線散乱技術を使用しています。さらに、Fusion XUVは、さまざまなカスタム治具やステージモーションを装備することができます。Fusion XUVには多数の機能があり、理想的なウェーハテストソリューションとなっています。正確な測定と分析を容易にする高度なアルゴリズムと、高速で信頼性の高い結果を提供する高解像度イメージングを提供します。さらに、信頼性の高いキャリブレーションにより、さまざまなウェーハタイプをテストしても正確な結果が得られます。全体として、KLA AIT Fusion XUVは、ウェーハテストと計測に強力で信頼性の高いソリューションを提供します。高度なイメージングと計測ツールを組み合わせることで、詳細な分析と正確な測定を行うことができます。さらに、非常に複雑なウェーハ表面を扱う場合でも、ユーザーフレンドリーで信頼性の高い結果を提供します。Fusion XUVは他のテストソリューションと比較しても優れたターンアラウンドタイムを有しており、ペースの速い業界や研究室に最適です。
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