中古 KLA / TENCOR AIT 8010 #293778201 を販売中
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KLA/TENCOR AIT 8010は、大量の半導体製造のために設計されたウェーハ試験および計測機器です。幅広い機能を提供し、薄膜、酸化、エッチング、沈殿物およびその他の重要なアプリケーションの正確なデータを必要とする生産ライン向けの包括的な計測ソリューションを提供します。このシステムは、200mm、 300mm、 400mmのウェーハに対応できるオプションを備えた200mmおよび300mmウェーハの計測アプリケーション用に設計されています。自動化されたウェーハハンドリングユニットを備えており、ウェーハの高速かつ正確なロードとアンロードを可能にします。また、高解像度の3Dイメージングツールを搭載しており、高精度で超高解像度の画像を撮影できます。KLA AIT 8010は、さまざまな測定機能を提供します。これには、0。1nmの解像度まで測定できるオンボード光学顕微鏡が含まれています。また、シート抵抗率やドーパント密度試験などのパラメトリックおよびマルチパラメトリック機能も統合されています。さらに、このアセットはNVセンターテストと相互接続テストをサポートしています。TENCOR AIT 8010には、分析、制御、およびデータ管理のためのツールを備えた、高度に洗練されたソフトウェアパッケージが含まれています。このソフトウェアを使用すると、測定パラメータを簡単に設定および制御し、タイムリーに結果を得ることができます。このモデルはまた、PDFやHTMLなどのさまざまな形式でレポートを生成する機能を備えた包括的なレポートオプションも提供します。測定機能に加えて、この装置はサンプル調製のためのさまざまなオプションも提供します。これには、ウェーハを正確に清掃、切断、および処理する機能が含まれます。また、このシステムは、直感的なユーザーインターフェイスと包括的な安全機能を備えた、高レベルの安全性と信頼性のために設計されています。AIT 8010は薄膜、酸化、エッチング、沈殿物および他の重要な適用のための広範囲および信頼できる解決を提供します。その洗練された光学系、自動測定システム、直感的なソフトウェアパッケージは、大量の半導体製造に最適です。
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