中古 KLA / TENCOR ADE 9500 #9389853 を販売中

KLA / TENCOR ADE 9500
ID: 9389853
Ultra gauge multi-measurement system.
KLA/TENCOR ADE 9500は、半導体デバイスのウェーハおよびサブアセンブリ試験に関連するほぼすべてのアプリケーションに適した最先端のウェーハ試験および計測機器です。ウェーハプロービングおよびウェーハマッピングには、光学顕微鏡や干渉計などのオンボード計測デバイスを使用して、フィーチャーのサイズ、形状、均一性を迅速に測定および評価することができます。KLA ADE 9500には、X-Yとシータ回転の両方を可能にする高精度モーションユニットが搭載されており、幅広いウエハータイプの特徴を正確にマッピングできます。このマシンは、ウェーハのモーションツールの制御を提供する高分解能の分配コントローラを備えており、マルチチャネル交換可能なハードウェアプラットフォームは、さまざまなウェーハ特性のオンボード、同期測定機能を提供します。TENCOR ADE 9500のExpert Asset Automationソフトウェアスイートは、事前にプログラムされたウェーハのプロービングシーケンスとプロシージャ、および完全に自動化されたテスト手順を可能にします。ADE 9500には、ロボットウェーハのロード/アンロード機能が搭載されているため、大量のウェーハ試験を行うことができます。また、データ管理システムを統合してテストデータを記録、保存、分析することができます。KLA/TENCOR ADE 9500のその他の機能には、自動環境制御およびモニタリング機能を備えた温度およびアクティブ湿度制御、正確な欠陥解析のためのマルチセンサー解析モジュール、および静的および動的応力解析機能を提供するウェーハおよびコンポーネントの応力プロファイリングがあります。また、KLA ADE 9500は高度な3D顕微鏡検査機能を提供することができ、迅速かつ正確な3Dイメージングとさまざまな機能の分析を可能にします。TENCOR ADE 9500の堅牢な機能セットは、多くの半導体アプリケーションに最適なソリューションです。ADE 9500は、高速かつ正確なイメージング、センシング、データ収集機能から正確な計測活動まで、幅広いウェーハで信頼性の高い結果を提供し、最新の半導体開発の要求に対応する能力と柔軟性の両方を提供します。
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