中古 KLA / TENCOR ADE 9500 #9389842 を販売中

KLA/TENCOR ADE 9500ウェーハテストおよび計測機器は、半導体ウェーハ製造のための精密、信頼性、正確な測定を提供するように設計された最先端のプロセス制御ソリューションです。このシステムは、自動化されたソフトウェア、ハードウェア、および測定機能を組み合わせて提供し、リアルタイムプロセスの最適化によって製造メーカーが歩留まりを向上させるのに役立ちます。KLA ADE 9500ユニットは、自動測定ステーション（AMS）、走査型電子顕微鏡（SEM）、パターン認識機（PRS）、自動欠陥解析（ADA）、欠陥レビューツール（DRS）、マスデータコントローラ（MDC）など、いくつかのコンポーネントで構成されています。AMSは、ウェーハの電気的および物理的特性を高精度で測定する、自動化されたリアルタイム試験および計測ステーションです。SEMは、ウェーハ表面の欠陥を検出、特性評価、識別できる高解像度イメージングアセットです。PRSは、ウェーハの欠陥パターンを検出し、特徴付けるように設計されています。これにより、メーカーは欠陥を軽減するためにプロセスレシピを最適化することができます。ADAにより、SEMでは検出が困難な孤立した欠陥を迅速に識別することができます。DRSは、複数のソースから画像やデータを確認するためのユーザーフレンドリーなインターフェースを提供するソフトウェアツールです。Mass Data Controller （MDC）は、効果的なデータ収集のためにすべてのモデルコンポーネントを統合する機能豊富なソフトウェアアプリケーションです。MDCは完全な生産ライン全体からのプロダクトおよび他のデータのゲート、測定および欠陥の検討を可能にします。MDCは、既存の技術と完全に協力して、エンドツーエンドのプロセスソリューションを作成し、データを保存および処理します。TENCOR ADE 9500装置を使用すると、オペレータはリアルタイムで不具合に迅速に対処し、プロセスの効率化と生産サイクル全体を通じて歩留まりを改善できます。また、ADE 9500にはトレーサビリティと安全なデータアーカイブ機能が組み込まれており、業界標準に厳格に準拠しています。その結果、プロセスの信頼性が向上し、ファブスループットが向上しました。