中古 KLA / TENCOR ADE 9500 #9170555 を販売中

KLA/TENCOR ADE 9500は、半導体業界で使用されるウェーハ試験および計測機器です。これは、ウェーハ製造プロセス全体でプロセスパラメータを迅速に測定するための強力なツールです。これは、層と層の厚さ、特徴の深さ、特徴の幅、および複数の電子ビームパラメータを測定することができます。また、特定のプロセスに合わせてカスタマイズされたテストおよび計測レシピ用の組み込みライブラリも含まれています。KLA ADE 9500は、高い運動範囲、正確な計測精度、高速なシステム応答時間を備えた、柔軟で高速で信頼性の高い試験および計測を提供します。これは、走査型電子顕微鏡（SEM）、電動ステージ、および位置決めユニットの間に密接に統合されて構築されています。ステーションは、電動ステージと位置決め機で構成され、サンプルをテストし、測定するための重要なコンポーネントです。SEMは、サンプルの表面をさまざまな角度から見ることができ、電動ステージは高度な測定に必要な極めて正確な運動を可能にします。TENCOR ADE 9500には、AutoFocusなどの高度な機能が搭載されています。Measurement Control Suiteを使用すると、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを使用して、すべてのテストと測定をカスタマイズできます。また、レイヤーマッピング機能により、レイヤーの厚さを高精度に正確に測定できます。ADE 9500にはオープンアーキテクチャがあり、スキャンプローブ顕微鏡（SPM）、ステージオートメーションシステム、さまざまなコンピュータなど、他の計装システムや制御システムとの統合が可能です。さらに、マルチユーザーシステムとの互換性が高く、柔軟で高速で信頼性の高いテストが可能です。要約すると、KLA/TENCOR ADE 9500は、さまざまなプロセスパラメータを正確に測定するための包括的な機能を備えたウェハテストおよび計測ツールです。高精度かつ高速に構築されており、迅速な応答時間で複雑な測定が可能です。他のシステムとの互換性が高く、複数のインストゥルメントを統合するためのオープンアーキテクチャを提供しています。