中古 KLA / TENCOR ADE 9500 #9169420 を販売中

KLA/TENCOR ADE 9500は、高度な欠陥検出と解析を可能にするウェハテストおよび計測機器です。フォトマスク、ウェーハ、フラットパネルディスプレイなど、さまざまな基板上の欠陥を検査および特性評価するための複数の技術が組み込まれています。KLA ADE 9500ユニットは、先進的な光学系、ハードウェア、ソフトウェアの組み合わせを利用して、フィーチャーサイズ、ライン幅、欠陥サイズおよび位置を正確に測定できます。KLATrimaxTMイメージングマシンを搭載し、最大10ナノメートルの高解像度画像を提供します。また、様々な材料の反射率を正確に測定するために、光反射計を使用しています。カスタマイズされたパターン認識ツールは、検査プロセスのさまざまな段階で欠陥タイプと信号の自動認識を提供します。TENCOR ADE 9500アセットは、最も困難かつ要求の厳しい集積回路設計における欠陥を特定し、分析するように設計されています。これは、10から4,000アングストロームまでの表面地形高さの欠陥を検出および測定することができます。これらの信号はプロセス歩留まりと密接に関連しているため、ADE 9500モデルはプロセス制御と歩留まりの最適化を強化することができます。KLA/TENCOR ADE 9500機器は使いやすく、特定のアプリケーションに迅速にセットアップできます。また、手動基板ローディングとアンロードによるセミオートメーションから、完全に自動化されたin-situシステムまで、さまざまなオートメーションレベルを提供しています。また、このシステムはMetrology Managerソフトウェアパッケージと統合されており、エンジニアはリアルタイムのSPCソフトウェアを使用してウェハサーフェスをレビューし、欠陥データを分析することができます。この機能により、エンジニアはさまざまな欠陥信号を迅速に評価し、製造プロセスの最適化と歩留まり向上に役立つ実用的な情報を提供できます。KLA ADE 9500ユニットは、正確な欠陥検出、解析、およびプロセス制御を提供する包括的で高性能でユーザーフレンドリーなツールです。半導体ICやフラットパネルディスプレイに最適で、プロセスの問題を特定し、検査時間を短縮し、全体的な歩留まりを向上させるために必要な情報をエンジニアに提供します。