中古 KLA / TENCOR ADE 9500 #293662989 を販売中

KLA / TENCOR ADE 9500
ID: 293662989
Ultra gauge multi-measurement system.
KLA/TENCOR ADE 9500は、ウェーハプロセス解析における正確な測定を提供するように設計されたウェーハテストおよび計測機器です。これは、重要なプロセスパラメータを監視および制御するための革新的で費用対効果の高いソリューションです。KLA ADE 9500は、走査型電子顕微鏡ベースの計測システムとして動作し、基板、パターン材料、および誘電層の特性とプロファイルを測定するために、後方散乱型電子画像を使用しています。3Dイメージングを活用して、表面トポグラフィ解析を強化し、ウェーハ処理を継続的に監視するための正確な計測を提供します。TENCOR ADE 9500は、マルチビームコラムを自動化し、大規模ウェハ間の複数のサイトを高速で正確に測定することができます。低真空イメージング(LVI)やサブミクロン分解能など、最新の走査型電子顕微鏡技術を搭載しています。この技術は、高解像度の二次電子画像を生成するのに役立ち、ウェーハの詳細な分析を容易にします。また、高度なアルゴリズムや光学系も組み込まれており、沈殿、エッチング、沈着システムのボイド、傷、傷などの欠陥を正確に検出することができます。自動化された測定により、迅速かつ信頼性の高いウェーハテストと計測データが提供され、生産ラインのエンジニアとプロセスエンジニアが生産プロセスを最適化するのに役立ちます。このツールは、簡単にフォローできるグラフィカルディスプレイを備えた直感的なユーザーインターフェイスで動作します。ADE 9500は、信頼性と再現性の高い測定、高速スループット、および自動サイジングを提供するように設計されています。半導体ウェーハ、ガラスウェーハ、ノンスクエアウェーハ、回路基板基板など幅広いサンプルタイプに対応しているため、研究分野や産業分野において様々な用途にご利用いただけます。KLA/TENCOR ADE 9500は、ウェーハプロセス解析に非常に汎用性が高く効率的なモデルであり、ウェーハの効率的な検出と分析に必要な柔軟性と精度を提供します。ウェーハ歩留まりの最適化とコスト削減のための強力なツールです。
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