中古 KLA / TENCOR / ADE 7600 Surfscan #9410326 を販売中
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KLA/TENCOR/ADE 7600 Surfscanは、半導体の測定、検査、歩留まり向上のための汎用性と高度なアプリケーションを提供する、最新の自動ウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高度なウェーハ検査、計測、電気試験、OBIRCH、高度な欠陥分類および自動欠陥レビュー機能を使用して、最高レベルの欠陥検出と分類を可能にします。最先端のアルゴリズムを駆使したこのユニットは、従来のシステムのスループットを500倍にすることで、最大の歩留まりと生産性を提供します。KLA 7600サーフスキャンは、スルーウェーハオプトメカニクスに最適化された独自の3次元光学回収技術を使用しています。比類のない計測解像度を提供し、高度な計測と深度プロファイル解析を可能にし、リアルタイムでクロスウェーハの比較可能性を提供します。これにより、プロセス制御とトラブルシューティングのためのエッチングプロセスを効果的に比較することもできます。機械の高度な欠陥分類エンジンには、欠陥署名と特性の包括的なライブラリが組み込まれており、自動欠陥タイピング、正確な偽陽性検出、およびバリエーションの特性評価を提供します。さらに、via、 contact、 line-width、 depthなどの重要寸法（CD）の欠陥分類も可能です。ADE 7600 Surfscanには強力な自動欠陥レビュー（ADR）ソリューションも含まれており、欠陥クラスタリングや歩留まりパフォーマンス分析、統合分類エンジンおよびOBIRCHなどの高度な欠陥レビュー操作を可能にします。これにより、幅広いアプリケーションで最高レベルの生産性と品質管理を実現します。このツールの包括的なハードウェアおよびソフトウェアパッケージには、包括的なハードウェアライブラリと高度なアプリケーションプラットフォームが含まれており、お客様のすべてのニーズに対応するのに十分な柔軟性があります。さらに、自動化されたリモート操作、ネットワーク可能なデータベース、さまざまなCADシステムとの互換性を備えています。このアセットは、200mmと300mmのウェーハサイズの両方に対応しており、コンパクトな設計は最小限のスペースを使用しているため、導入には非常に費用対効果が高くなります。結論として、7600 Surfscanは、利用可能な最も先進的なウェーハテストおよび計測ソリューションの1つです。その高度な計測および欠陥検出機能は、幅広いハードウェアおよびソフトウェアオプションと組み合わせて、最高のスループットと精度レベルを提供し、最大の歩留まりと生産性を実現します。
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