中古 KLA / TENCOR Acrotec 6020 #9292406 を販売中
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KLA/TENCOR Acrotec 6020は、高精度の欠陥検査と評価を行うように設計された高度なウェハテストおよび計測システムです。自動化されたスキャンおよびイメージング技術により、最新のウェーハおよび基板製造に必要な最高の解像度と精度を提供します。自動ウェーハスキャンシステムは、ウェーハ表面の粒子サイズから微粒子までの欠陥を正確に検出、特性評価、記録します。セクターサンプリングを採用した高度なOptiGauge欠陥検出モードにより、レジストやバリアコーティングなどのさまざまな保護コーティングを検出および分析できます。ユーザーフレンドリーなインターフェイスとグラフィカルディスプレイ、自動統計と統計分析を組み合わせて、統計的に制御された測定と評価のための使いやすい環境を作成します。KLA Acrotec 6020は、高精度ウェーハの位置決めを特長としています。ウェーハの端の検出の検出への急速な応答；フルフィールドスキャン機能。画像品質を最適化する高度な画像補間機能。そして高精度の欠陥の検出および分析のための高度のイメージ投射のアルゴリズム。業界最高の解像度の要件を満たすように設計されたウェーハアライメントとトリミング機能により、ウェーハの最適な位置決めと精度アライメントを保証し、均一な測定を実現します。TENCOR 6020は、最新のウェーハ計測および検査技術を搭載しています。ウェーハの3Dイメージング用のフォーカススキャンモード、欠陥スキャンモード、モニタースキャンモードなど、いくつかの自動イメージングモードが装備されています。フォーカスモニタスキャンは、ヘリコイド方向の画像を撮影し、表面を360度見渡すことができます。Acrotec 6020の画像解析モジュールには、さまざまな測定、分類、解析機能が含まれており、欠陥センターを簡単に見つけて評価することができます。TENCOR Acrotec 6020は、OASIS、 PATRIOT、 CORAISを含む包括的なウェーハテストおよび計測ソフトウェアによってサポートされています。OASISソフトウェアは、正確な粘着、応力、汚染試験結果を可能にし、PATRIOTアプリケーションは、高精度のウェーハ測定のための統計的プロセス制御を提供します。CORAISモジュールは、多層イメージングとストレスマッピングをサポートし、信頼性の高い欠陥認識とレポートを提供します。汎用性とコスト効率に優れたKLA 6020ウェーハテストおよび計測システムは、最高レベルのウェーハ欠陥検査と評価効率と精度を提供します。自動化されたスキャンおよびイメージング技術により、市場で入手可能な最も徹底的で正確なウェーハ検査および分析を提供します。
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