中古 KLA / TENCOR Acrotec 6020 #293607188 を販売中

KLA/TENCOR Acrotec 6020は、最先端のウェーハ試験および計測機器です。これは、幅広い高度な計測機能と強力なソフトウェアオプションを組み合わせて、プロセス制御を改善し、歩留まり制限パラメータに関する重要な洞察を得るためのプラットフォームを提供します。オペレータの介入、ウェーハの堅牢な取り扱い、自動化されたアライメントと検査を最小限に抑え、正確かつ再現性の高い測定を実現します。このシステムは、明るいフィールド、暗いフィールド、レーザー照明のイメージングツールの組み合わせを誇り、さまざまな角度でウェーハを正確に処理するための5軸ステージの上に層状に配置されています。KLA Acrotec 6020は、精密チューニング可能なレーザーおよびオートフォーカス技術を使用して、薄膜および熱酸化層の厚さとプロファイルを測定できます。最新の画像処理および信号処理技術、多次元スペクトル解析、高度なアルゴリズムを活用して、業界をリードするパターン認識機能を提供しています。TENCOR 6020は、完全に構成可能なハードウェア設定により、さまざまな材料やプロセスの非接触測定を自動化します。さまざまなサイズの半導体ウェーハで、線幅、ファセット角度、エッチング深さなどのパラメータを測定するように設計されています。また、低コントラストターゲットや複雑な構造ジオメトリの解析など、最も困難な測定にも対応できます。さらに、このマシンは、高度なパターンマッチングアルゴリズムなどの高度な欠陥検出ツールを使用して、歩留まり損失を引き起こす可能性のある欠陥を特定し、特徴付けします。その統計的プロセス制御アルゴリズムは、プロセスドリフトをタイムリーに検出するだけでなく、製品歩留まりに関するより良い決定を可能にします。Acrotec 6020は、信頼性の高いデータと再現性のある結果を提供する強力で正確なウェーハテストおよび計測ツールです。高度なソフトウェアアルゴリズムと組み合わせた高度な光学イメージングと測定機能により、さまざまな材料やプロセスパラメータを高精度に測定することができます。KLA/TENCOR 6020は、幅広いパラメータを測定する機能と優れた欠陥検出機能を備えており、今日の競争の激しい半導体業界におけるプロセス性能の最適化、歩留まりの向上、コストの管理に不可欠なツールです。