中古 KLA / TENCOR 8450 #9316172 を販売中

製造業者
KLA / TENCOR
モデル
8450
ID: 9316172
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM).
KLA/TENCOR 8450は、最先端のウェーハ試験および計測機器です。ウェーハの精密な試験と計測のために、半導体およびMEMS業界の厳しい要件を満たすように設計されています。このシステムは、さまざまなオプションと機能を組み合わせて、高精度の測定および分析機能を提供します。KLA 8450は、マルチセンサー検査機能、高速、精度、および最小限の侵入試験を提供します。統合された光学センサと機械センサを使用して、高精度の結果を保証します。高倍率光学は、ウェーハ表面の鮮明なイメージングを提供します。このユニットは、強力な画像処理機能を提供するように設計されており、ウェーハ表面の時間の経過とともに自動的なデータ分析と比較を可能にします。TENCOR 8450は、自己学習、超高感度、多目的イメージングマシンを使用して、さまざまなウェーハ表面特性を測定します。このツールは、エリア平均、ライン平均、またはシングルポイントスキャンなどの複数のスキャン方法で構成できます。シンプルなトポロジーと複雑なトポロジーの両方を測定することができ、大きなウェーハの詳細な分析を可能にします。このアセットは、ウェーハサーフェスの自動マッピングも提供し、指定された基準との比較または比較を容易にします。8450には、統合された特許取得済みの自動サンプリングモデルがあります。この機能は、ウェーハが任意の順序で均等にテストされることを保証します。装置はいろいろカスタマイズ可能な制御とユーザーがテストプロセスを最適化することを可能にする設計されています。KLA/TENCOR 8450は、データ収集、分析、リモートコントロール機能も幅広く提供しています。データ収集オプションには、ウェーハの自動および半自動の寸法記入、表面粗さ、輪郭プロファイルなどがあります。分析機能には、ウェーハ表面の曲率測定、濡れ角度、欠陥解析などがあります。このシステムはまた、半自動および自動制御機能の範囲を提供しています。KLA 8450は、さまざまな半導体およびMEMS要件に対応する包括的な試験および計測機能を提供する設計です。その機能と機能により、正確で信頼性の高い結果が得られ、ウェハレベルのテストに最適です。単位は広範囲のテストおよび測定のための他の装置と統合することができます。そのユーザーフレンドリーな制御と自動化されたプロセスにより、機械の操作とメンテナンスが容易になります。
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