中古 KLA / TENCOR 8250 T #9191936 を販売中
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KLA/TENCOR 8250 Tは、半導体ウェーハの高度な特性評価用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは「、8K」イメージングと呼ばれる自動表面検査技術を使用して、ウェーハの上面および側壁の欠陥を高い精度と感度で検出します。また、利用可能な最高の解像度と信号対ノイズ比を提供し、同じ高精度で非常に小さな欠陥を検出することができます。また、突起、ピット、パターンの不規則性を含むさまざまな種類の欠陥を検出することができます。KLA 8250 Tは、86mmまでの基板に対応できる8K自動ウェハ検査エリアを備えています。このユニットには、ウェーハ表面の自動解析用の高度なイメージング分光計が装備されています。この分光計は、波長400〜40ナノメートル(nm)の光源を利用しており、さまざまな可視光、可視光、紫外線を含む幅広い画像条件にアクセスできます。また、信号対ノイズ比を最大化し、エラーを最小限に抑える自動フォーカスツールを搭載しています。このウェハテストアセットは、自動表面検査に加えて、計測および特性評価機能を備えています。その高精度の計測モデルは、フィルムやレイヤーの厚さを測定するだけでなく、ウェーハワープを監視し、絶対的な均一性を確保することができます。また、エッチングの深さやウェーハトポグラフィを高精度に測定・制御することができます。さらに、ナノメートルスケールの解像度でウェーハ表面の3Dマップを生成する高分解能レーザースキャンが可能です。全体として、TENCOR 8250 Tウェーハテストおよび計測ユニットは、半導体ウェーハの高度な解析に最適です。8Kの自動表面検査技術により、ウェーハの欠陥を検出するための最高の精度と感度を保証します。さらに、層の厚さの測定、ウェーハワープの監視、高解像度レーザースキャンなど、さまざまな計測アプリケーションを実行できます。これらのすべての機能により、8250 Tは高度なウェーハテストと計測ニーズに最適です。
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