中古 KLA / TENCOR 80-00100 #9141855 を販売中

KLA/TENCOR 80-00100は、半導体ウェーハ上の薄膜層の精密な自動測定および分析を行う先進的なウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、ウェーハ上のデバイスの実際の応答をシミュレートし、ユーザーがウェーハ上のフィルムや構造の厚さなどの特性を迅速かつ正確に測定できるようにします。また、製造工程で発生した不具合を検知し、資格取得や工程管理業務を支援することができます。KLA 80-00100ユニットは、メインフレームと多数の独立したヘッドモジュールで構成されており、それぞれに測定プロセスに必要なコンポーネントが含まれています。メインフレームは、データとデータ処理を得るための高精度光学機械を備えています。この光学系は、伝送、反射、放射モードで動作することが可能であり、測定の最大の精度と再現性を確保するように設計されています。ヘッドモジュールには、モーションコントローラ、スキャンモータ、光学部品、トランスミッションおよびイメージングセンサー、照明用光源が含まれ、これらはすべて、ウェーハに関してヘッドの位置を制御するために協力します。さらに、ヘッドは多数のアクセサリやレンズを取り付けることができ、ユーザーは特定のテストアプリケーション用にツールを構成することができます。TENCOR 80-00100アセットは、テストの計画と実行に必要なソフトウェアで提供されます。フィルムと欠陥の組み合わせ測定が可能であり、IC構造の正確な3D表面およびプロファイルマッピングを提供します。パラメータトラッキング、プロセスモニタリング、プロセスレシピのエミュレーションなどの操作を実行するためにモデルをプログラムすることもできます。80-00100装置は精密、正確さおよび自動化された操作のために半導体産業で広く利用されています。それは非常に構成可能で、いろいろなテストアプリケーションに合わせることができます。また、信頼性の高いデータ出力も評価されており、デバイス開発とプロセス最適化のための貴重な洞察を提供します。