中古 KLA / TENCOR 7700M Surfscan #9313795 を販売中
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ID: 9313795
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1995
Wafer inspection system, 8"
Model no: 313246
Display monitor
Keyboard and trackball
(2) Cassette plates
Wafer transfer robot
Chuck, 8"
JDS UNIPHASE 2214-30SL Laser
Pre-aligner
ADC Board
Motor lamp drive board
Power drawer box
External fan
Exhaust line
Computer:
IDE Control board
SECS Port
CPU Board
CPU Parallel port
Hard Disk Drive (HDD)
PSF Control board
(2) Motor control boards
Interface board
PFE Board
Motor controller board
Power supply: 208 V, 20 A, 60 Hz, 2 Phase
1995 vintage.
KLA/TENCOR 7700M Surfscanは、半導体業界向けに設計された高性能ウェーハ試験および計測機器です。システムの高度な光学、イメージング、自動化された測定機能により、ウェーハの重要なパラメータ、および地形形状を迅速に測定および分析できます。KLA 7700M Surfscanを使用すると、高い精度と再現性でウェーハを確実に分析および検査できます。TENCOR 7700M Surfscanは、ウェハーマッピングに特許取得済みのスキャン機構を採用しています。このユニットは、マシンのスキャンステージに水平に配置された、低ノイズの16ビットのリニアCCDカメラのリニアアレイを使用しています。これらのカメラは、酸化物厚さなどのウェーハの電気的特性とその地形を測定します。このツールの高度に統合された基板オートフォーカス機能により、数秒で正確なテストが可能になります。7700M Surfscanは優れた光学系を備えており、ウェーハ表面の地形を高速かつ正確に3D測定することができます。従来の2Dシステムと比較して最大6倍の高精度を実現し、4倍ズーム、5ミクロンのピクセルサイズの真のカラーイメージングも可能です。KLA/TENCOR 7700M Surfscanは、ウェーハの検査とパターニング作業を自動化する専用のSoftware Automation Suiteを使用しています。アセットからデータを表示および制御するための単一のエントリをユーザーに提供します。このソフトウェアは、操作を合理化し、プロセスの各ステップを通じてオペレータを効率的にガイドします。さらに、このモデルを際立たせているのは、データベース同期とスクリプト実行のための複数のツールを含むWeb Automation Serverです。これは、機器のデータ管理関連ソフトウェアや工場内の他のホストシステムとのシームレスな通信を確保するのに役立ちます。KLA 7700M Surfscanは直感的で費用対効果の高いシステムであり、ウェーハ試験および計測プロジェクトにおいて精度と再現性を向上させることができます。洗練されたスキャン光学、自動測定機能、およびユーザーフレンドリーなソフトウェアの強力な組み合わせにより、このユニットは半導体業界のウェーハ試験および計測プロジェクトに最適です。
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