中古 KLA / TENCOR 7700M Surfscan #293793013 を販売中

KLA/TENCOR 7700M Surfscanは、半導体製造におけるアプリケーション欠陥とプロセス制御のための最先端のウェーハ試験および計測機器です。7nm、 10nm、 12nmテクノロジーノードなどの高度なプロセスノードや、ポリシリコン、ガリウムヒ素、ゲルマニウムなどの多様な材料に最適です。7700Mの中核には、ストロボと標準照明を使用して表面の詳細な画像をキャプチャするユニークで強力な光学測定システムがあります。5倍の倍率と25 μ mの低調査範囲により、チップ上の突起パターンなどの小さな特徴を正確に評価することができます。また、内蔵の品質メトリックにより、期待される仕様を満たさないデバイスにフラグを付けることができます。イメージングに加えて、7700Mはウェーハ上のフィーチャーの自動マッピングを可能にする強力なステップと繰り返し計測ユニットを備えています。これは、高度な光学および動的電圧コントラストイメージング（DVCI）を使用して、歪んだサーフェス間でも比類のない精度で深さ、半径、およびサイドウォール角度プロファイルを定量化します。7nmの解像度と高度な2軸ステージにより、ウェーハ全体を高精度かつ高速にマッピングできます。7700Mはまた、品質とプロセス制御を確保するために、他のさまざまなツールを備えています。高速で精密なローカライズ、スキャンシーケンス、パターンレビュー機能により、欠陥を迅速に検出し、ソリューションを迅速に特定できます。完全に自動化された機械再構成機能により、ユーザーは迅速かつ簡単に再校正することができ、さまざまな複雑な要件に適しています。最後に、7700Mは超低汚染プロセス向けに設計されており、最も厳しい業界標準に準拠しています。高精度の光学フィルター、空気軸受け段階、および超純粋な環境はユーザーが誤った結果か汚染の心配なしで最新の技術を使用することを可能にします。全体として、KLA 7700M Surfscanは非常に強力で信頼性の高いウェーハテストおよび計測ツールであり、その堅牢な機能セットと高性能により、高度なプロセスノードや多様な材料に最適なソリューションです。