中古 KLA / TENCOR 7700M Surfscan #293604335 を販売中

KLA/TENCOR 7700M Surfscanは、製造および半導体産業で使用される最先端のウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高解像度イメージング、表面解析、断面および3D解析、非接触の電気特性評価、オーバーレイ測定などの非破壊検査および測定機能を提供します。Surfscan 7700Mは高解像度のイメージングを提供し、非常に微細な構造、フィルム、欠陥の識別を可能にし、デバイス構造、製造プロセス、およびデバイス性能の分析と検証を容易にします。5µm解像度と統合された5メガピクセルカメラにより、最大12fpsの速度でウェーハ全体の詳細な画像を取得できます。また、マルチフォーカル平面検出（MFP）機能を使用して最大10の機能を同時に取得できます。Surfscan 7700Mは、ウェーハ表面解析を提供し、さまざまな基板の表面粗さ、汚染、欠陥、および穀物構造の同定と定量化を可能にします。その粒子分析機能は、あらゆる表面上の汚染と粒子分布をマッピングする機能を提供します。また、3Dトポグラフィーモードを備えているため、欠陥や重要な機能を識別するための深度および機能プロファイリング機能が可能です。このマシンは、集積回路や他のデバイスの電気特性を評価することを可能にするウェーハの非接触電気特性を提供しています。伝送長（TL）測定ツールは、デバイス間の伝送ラインの長さを測定し、出力特性アセットはデバイスの出力特性を測定します。また、ICオーバーレイ測定を提供し、製造工程におけるICデバイスのオーバーレイアライメントを決定することができます。KLA 7700M Surfscanは、高解像度イメージング、表面解析、断面および3D解析、非接触電気特性評価、オーバーレイ測定を提供する高度なウェーハ試験および計測モデルです。その機能を使用すると、さまざまなウェーハデバイスやアプリケーションの生産と検証に役立つことができます。