中古 KLA / TENCOR 7700M Surfscan #293603718 を販売中

KLA/TENCOR 7700M Surfscanは、生産設定における精度、精度、およびスループットを最適化するように設計されたウェーハ表面試験および計測機器です。誘電体表面、金属、リードフレーム、埋め込み構造を持つウェーハなど、幅広いウェーハ表面の材料特性を検出できます。システムの中核には、最大1800倍の倍率で表面画像をキャプチャする高解像度のデジタル顕微鏡サブシステムがあり、最も複雑な表面の詳細な分析を可能にします。このユニットは、自動的にフルフィールドトポグラフィースキャンを実行し、最も複雑な機能でパラメトリックな断面フィーチャーを識別できます。KLAは高精度を確保するために、Kernaisk-Sondermann Mapping Methodなどの独自のマッピング技術を使用してナノスケールの特徴をマッピングしています。スキャンは粗さ、輪郭、ステップハイト、ライン幅をキャプチャし、ウェーハ表面の詳細な分析を可能にします。マシンは、ウェーハ上のパッドの開口部またはバンプの存在を識別することさえできます。取得した画像は1nmの繰り返し可能なラスタースキャンとオーバーレイされた画像でスキャンキッチンに配信されるため、プロセスエンジニアは再現可能なプロセスによって引き起こされる欠陥を特定し、パラメトリック測定と生産歩留まり評価を行うことができます。また、ACおよびDC試験、静電容量電圧測定、ウェーハ抵抗試験、絶縁特性評価、DCパラメータ抽出など、接触試験、非接触試験、非破壊試験機能も備えています。これらのテスト中に、アセットの16bitデジタル写真および専門調査ソフトウェアは、ウェーハの欠陥を検出し、ウェーハ表面および特性に対するプロセス変化の影響を予測することができます。KLA 7700M Surfscanモデルは、重要なプロセスを特性化および最適化するための理想的なツールです。この機器は、効率的で信頼性の高いプロセス設計を推進するための最先端の機能、正確で反復可能なプロセス、および洞察に富んだ分析を提供します。