中古 KLA / TENCOR 7700M Surfscan #145603 を販売中
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KLA/TENCOR 7700M Surfscanは、自動化された高精度の表面解析用に設計されたウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、自動検査プラットフォームを使用して、スループットの向上やプロセス制御などの包括的な機能を実現します。KLA 7700M Surfscanは8 "x 8" x 0。5"視野の高速、二軸の位置の単位を特色にします。これにより、大規模なウェーハ試験とウェーハ表面の特徴を微細に解析するために使用することができます。また、歩留まりを最大化するように設計された高分解能の収差と色格子測定、光学プロファイラと粒子カウントモードを備えており、粒子を1 μ mまで検出できます。TENCOR 7700M Surfscanの高度なスキャンツールは、最大直径8インチの可変ウェハサイズと曲率をサポートするように設計されています。また、平らな表面、コーティングされた表面、エッチングされた表面などの滑らかな表面、ならびに発火回路基板やプラスチック製品などの形状の異なる非均一な表面または物体を検査するために使用することができます。7700M Surfscanのサンプルアライメント機能により、アセット内のサンプルを簡単に正確に配置できます。これは、通常1mm未満の測定では、カメラと視野ジェットに関連してサンプルを自動的に配置することによって可能です。さらに、KLA/TENCOR 7700M Surfscanは、ウェハ検査用のソフトウェア機能を多数備えています。カスタマイズ可能なデータ表示オプションと高度なデータ分析のサポートにより、幅広い測定結果を得ることができます。さらに、このモデルは堅牢なデータロギングとレポート機能を提供し、結果を簡単かつ安全に保存できます。全体的に、KLA 7700M Surfscanは、歩留まりを最大化し、プロセス制御を向上させるように設計されたウェーハテストと計測のための包括的な機能セットを提供します。自動化された装置は、さまざまなウェーハサイズと材料を処理し、高度な測定機能と手動または自動化された操作のためのソフトウェア機能を提供します。このシステムは、プロセス制御を強化するための包括的な分析とレポート生成を可能にするために、さまざまなデータを取得することができます。
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