中古 KLA / TENCOR 7700 #9377288 を販売中

KLA/TENCOR 7700ウェハテストおよび計測装置は、半導体デバイスの効率的な試験および計測を提供する汎用性の高い高性能システムです。トランジスタ構造、臨界寸法、ドーパント濃度、汚染試験など、さまざまなデバイスに効率的で正確な計測を提供するように設計されています。このユニットは、最大8つのチャンバーで直径18インチまでのウェーハをテストすることができます。KLA 7700マシンは、さまざまなデバイスジオメトリの効率的で信頼性の高いテストを可能にする統合された自動ウェーハハンドラ（AWH）で設計されています。このツールは、スタンドアロン構成とモジュラー構成の両方で光学解析と電気解析を包含する幅広いテスト測定に対応できます。アセットのVersaMetric™ Feature Extractorソフトウェアを使用すると、研究者は機能情報を簡単に抽出し、カスタマイズ可能なグラフィカルインターフェイススクリーンを通じて結果を視覚化できます。TENCOR 7700モデルは、独自の高度な深紫外線（UV）光源を測定に使用しています。この光源は、さまざまなデバイスの動作を考慮するために調整可能であり、低温または高温で測定しても正確なデータ収集を提供します。装置のFocus Variationオプションを使用すると、ビームスポットサイズをキャリブレーションしてさまざまなデバイスジオメトリに対応できます。インライン解析では、7700システムは非接触容量測定センサを使用しており、導電性材料の非常に小さな違いを検出することができます。この機能により、電気的欠陥と構造的欠陥の両方を迅速にテストすることができ、微妙な構造変化やデバイスの劣化を時間とともに検出することができます。全体として、KLA/TENCOR 7700マシンは、半導体デバイスに幅広い試験および計測ソリューションを提供します。VersaMetric™ Feature ExtractorソフトウェアやFocus Variationオプションなど、さまざまな高度な機能を使用して、高精度で効率的なテストを保証します。このツールの非接触容量測定センサは、小さな欠陥のインライン分析と検出を可能にし、資産の結果の精度を向上させます。