中古 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9398780 を販売中

KLA/TENCOR 7700 Surfscanは、プロセス欠陥、粒子汚染、薄膜厚のマイクロエレクトロニクスデバイスの検査に使用されるウェハテストおよび計測機器です。精度を確保するための高精度3軸電動ウェーハステージと、微妙な表面変動を検出するレーザーセンシングシステムを備えています。KLA 7700 Surfscanは、5x10-9 N/m2のダイオードポンピングレーザーを使用して、0。2〜5 µm未満の表面粗さを測定し、0。1 nm以内の差を測定します。その空間分解能は0。5〜4 λのサイズで0。5 µm/roに達します。このユニットは、静的または動的ウェーハ測定用に設定でき、非破壊的および再現可能なテストでデータ収集を可能にします。TENCOR 7700 Surfscanは、粒子検出、構造スクリーニング、分類、輪郭マッピング、ヒストグラムなどの高度なデータ分析ツールも提供しています。さらに、従来のテストパッドとフラットバンドを提供します。データ取得を3Dで見ることができ、測定を正確に分析することができます。これらのツールは、開発の初期段階で欠陥を特定するのに役立ち、エンジニアはフルスケールの問題になる前に問題を修正する可能性が高くなります。7700 Surfscanは、超機能検出、PINマッピング、ガイド付きフィーチャー解析などの高度な欠陥レビュー技術も提供しており、エンジニアは欠陥の原因を迅速に特定して問題を迅速に解決するのに役立ちます。全体として、KLA/TENCOR 7700 Surfscanは、マイクロエレクトロニクスデバイスの精度と信頼性を確保するための貴重なツールです。高精度の電動ウェーハステージとレーザーセンシングマシンは正確な測定値を提供し、高度な機能によりエンジニアは欠陥をすばやく検出して分離することができます。