中古 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9239241 を販売中

KLA/TENCOR 7700サーフスキャンは、高度なウェハテストおよび計測機器です。パワフルで高感度な光干渉サーフェスプロファイラを搭載し、ナノメートル分解能で非常に複雑な表面を高精度に測定できます。このシステムは、重要な欠陥検出および解析を実行するためにも使用できます。表面の地形、厚さ、サイドウォール角度、平坦度、ライン幅またはフィーチャー幅を高い精度で測定することができます。KLA 7700サーフスキャンユニットは、最大直径200mmのウェーハに対応し、最適な測定再現性を実現します。TENCOR 7700サーフスキャンは、干渉光学系と高解像度CCDカメラを組み合わせて、ウェハの表面プロファイル、地形、線幅、フィーチャサイズを分析します。高精度のスキャン技術により、サーフスキャンは表面の特徴の詳細な画像をキャプチャすることができ、事前に定義された製品仕様と比較することができます。Surfscanは、粒度ノイズと表面反射効果を低減または除去するためのさまざまな照明技術を提供し、最も正確な測定を可能にします。Surfscanのソフトウェアは、表面画像を処理し、ピコメートルの精度で2Dプロファイルデータを定量的に測定するように設計されています。また、確立されたツールやアルゴリズムを使用して欠陥サイトを分析し、それらを識別することができます。その後、これらの測定値を使用して歩留まりおよび欠陥処理を決定し、その後のウェーハ処理の設計規則を決定するのに役立ちます。Surfscanは、さまざまなオペレーティングシステムとインタフェースすることができ、幅広いアプリケーションに適しています。一般に、現在入手可能な最も正確なウェーハテストおよび計測システムの1つであると考えられています。機械は信頼性および再現性のために設計されています、ユーザーが一貫した、正確な結果を得ることに頼ることができることを保障します。最後に、7700 Surfscanには包括的なユーザーマニュアルとテクニカルサポートドキュメントが付属しており、機器のセットアップと機能をユーザーに案内します。