中古 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9198541 を販売中

KLA/TENCOR 7700 Surfscanは、集積回路およびマイクロエレクトロニクス部品の物理的、電気的、光学的特性を測定および評価するために使用されるウェーハ試験および計測機器です。KLA 7700サーフスキャンシステムは、半導体および光電子部品の開発、特性評価、製造において重要なツールです。7700は、高い再現性と精度を備えた高精度の計測ユニットを備えています。1ナノメートルから6mmまでのサイズの特徴を測定するように設計されており、eビーム、DUV、 ArFi、可視イメージングなどの幅広いフォトリソグラフィ技術をサポートしています。さらに、7700は0。01ナノメートルの分解能で表面地形を測定することができます。TENCOR 7700サーフスキャンは、様々な計測技術を使用して、走査型電子顕微鏡（SEM）、原子力顕微鏡（AFM）、共焦点顕微鏡（CM）、白色光干渉計（WLI）、光学散乱計（optical scatterometry）などのさまざまな試験を実施します。これらの技術は、そのウェーハ上の回路のジオメトリと特性を分析するために使用されます。SEMは、表面に堆積した金属の成長率を含む回路のレイアウトを観察するために使用されます。AFMは、表面の高解像度、3D画像を提供し、表面粗さの正確な特性評価とウエハの粗さ予算の正確な制御を可能にします。CMは、大規模解像度と小規模解像度の両方で非破壊イメージングを可能にし、デバイスの性能や疑似速度や接触などの機能の正確な特性評価を可能にします。WLIは、コーティングおよび薄膜の状態と安定性を監視できる回折イメージング技術です。OSは、回路基板の表面トポグラフィの光学効果を検出し、ウェーハ特性の表面の高精度な寸法測定および解析に適しています。7700サーフスキャンは機能豊富な計測機で、完全な柔軟性とスケーラビリティを実現します。データ収集や分析基板などのハードウェアを統合した手動操作や自動スキャンに使用でき、また、オペレータはスキャン電子顕微鏡インターフェースなどのサードパーティの機器を統合することができます。また、手動および電動ステージを含むさまざまなプローブに対応し、さまざまなソフトウェアツールを使用して展開することもできます。KLA/TENCOR 7700サーフスキャンツールは、回路や部品の物理的、電気的、光学的特性を測定するための信頼性とコスト効率の高い計測資産です。これは、さまざまな開発および生産アプリケーションで使用され、半導体業界で不可欠なツールです。