中古 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9171318 を販売中

KLA/TENCOR 7700 Surfscanは、半導体業界のプロセス監視用に設計された最先端のウェハテストおよび計測機器です。先進技術で設計されたKLA 7700 Surfscanは、フロントエンド、バックエンド、薄膜プロセス特性評価を可能にします。TENCOR 7700 Surfscanは、Ethernetを介して既存のラボおよびファブ生産システムに簡単に接続し、データを迅速に収集し、結果を簡単に確認し、プロセスエクスカーションに迅速に応答する機能を顧客に提供します。自動化されたウェーハハンドリング、in-situ分光、自動化されたウェーハマッピング、フォーカスイオンビームイメージングなどの統合コンポーネントが含まれています。Surfscanのハードウェアとソフトウェアは、高速なデータ収集と分析を可能にします。7700サーフスキャンの中心にはスキャンヘッドがあります。これにより、最高542mm/sの雷の高速スキャン速度で、低圧と高圧の両方で、極端な8インチから200mmウェーハまたは窓で正確な信号検出が可能になります。これは、KLAの特許取得済みのSingle- Scan™技術を使用して、独自に制御された高解像度、長寿命、400ミクロンの圧電スキャンステージによって可能になります。Single- Scan™のもう1つの利点は、ウェーハレイヤーとコンポジションの視認性を向上させる卓越したスコアリング許容度です。さらに、KLA/TENCOR 7700 Surfscanには、50〜2000nmのスペクトル範囲で3ナノメートルの粒子を測定する2つの同時分光計が装備されています。どちらの分光計も広範囲のスキャン速度とエリアスキャン密度を備えており、ミクロンスケールまでのウェハ検査が可能です。また、サーフスキャンは素早く粒子を識別し、シリコン、有機、シリコン、またはその他の粒子を1つのスキャンで正確に分類することができます。Surfscan 7700は高度なアルゴリズムを使用して、非常に正確な3次元ウェハスキャンを提供します。これらのアルゴリズムは、システムの焦点イオンビームイメージング機能と連携して動作し、ウェーハの非常に詳細な地形と汚染マッピングとその厚さまたは組成を提供します。Surfscanの2番目のアルゴリズムは、ノイズの低減と感度の向上にも役立ち、顧客の信頼性を高めます。Surfscan 7700は、迅速かつ正確で信頼性の高いデータを提供する、市場をリードするウェーハテストおよび計測機器です。KLA 7700 Surfscanは、これらのハンドリングプロセスの遠足から薄膜ウェーハのさらなる特性評価を求める人々まで、半導体製造と試験に不可欠なツールを提供します。