中古 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9042217 を販売中

KLA / TENCOR 7700 Surfscan
ID: 9042217
Patterned wafer surface inspection system.
KLA/TENCOR 7700サーフスキャン装置は、高度なマイクロエレクトロニクス基板(ウェーハ)の精密測定、検査、特性評価用に設計された表面試験および計測システムです。ウェーハの厚さと平坦度、特徴サイズ、表面仕上げ/質感、清潔度などのウェーハ表面分析を提供します。マクロとナノスケールの両方で高精度な測定が可能です。KLA 7700サーフスキャンマシンは、3D光学技術と2D光学技術の両方を使用してウェーハパターンデータをキャプチャします。3D光学技術は、傷、バンプ、ヒロックなどのマイクロ欠陥の測定を可能にするウェーハの地形表面データをキャプチャします。2D光学技術は、ウェーハの平坦な視野からデータをキャプチャし、全体的なパターンの均一性または「平坦性」を測定します。このツールは、0。2 μ mのサイズの特徴を測定できる高性能解析技術を使用しています。TENCOR 7700 Surfscanには高度な画像ビジュアライゼーションと分析ツールが搭載されており、データ解釈が容易になります。7700によって生成されたデータは、独自のアルゴリズムと統計モデルによって分析されます。これは、製品の性能を検証し、処理および生産工程全体での歩留まりを確認するのに役立ちます。7700 Surfscanは、現場で自動測定を行うことで、スループットと生産歩留まりを向上させながら、ヒューマンエラーや変動のリスクを低減するのに役立ちます。さらに、キャリブレーション手順を合理化するオートフォーカス技術を搭載し、高度なパターン認識を統合してデバイス機能の認識を強化します。全体として、KLA/TENCOR 7700 Surfscanは、高精度、微小欠陥の検出、自動化されたプロセス、高度な画像可視化ツールにより、ウェハテストおよび計測に最適なモデルです。KLA 7700 Surfscanは、特徴サイズと表面仕上げを正確に測定する機能を備えており、ウェーハの製造と高度な半導体製造に不可欠なツールです。
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