中古 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293747975 を販売中

KLA/TENCOR 7700は、完全に自動化されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、8インチおよび12インチのウェーハを扱うことができ、ウェーハ、IC、およびMEMS上の電気的および光学的特性を測定するために使用されます。このユニットは、統合された顕微鏡、光学デジタイザ、イメージングシステム、およびユーザーがプログラム可能なロボット段階を使用して、単一の環境内のさまざまな機能を測定します。KLA 7700は、光学測定用の3。4ナノメートル分解能と、さまざまなイメージング技術用の幅広いセンサを備えているため、デバイスの特性評価、フォルト検出、故障解析に最適です。TENCOR 7700のイメージングオプティクスには、ブライトフィールド、ダークフィールド、偏光、蛍光機能が含まれます。このツールはまた、表面粗さ解析、線幅測定、バンプまたはボイド検出、3D光学サーフェスプロファイリングなどの広範な計測機能を提供します。この機械は、1ナノメートル以上の精度で20ナノメートルの小さい特徴を測定することができます。さらに、このツールは、最大12インチウェーハを処理することができ、毎分10,000テストまでのテスト速度を達成することができます。7700には、パラメトリックテスト、金型検査、欠陥イメージングなど、さまざまな画像ベースのテスト機能が含まれています。パラメトリック試験は、温度、電圧、およびその他の環境要因による性能変化を識別することができます。金型検査機能は、ウェーハの構造欠陥、歩留まりの問題、およびプロセスのバリエーションを検出するために使用されます。欠陥イメージング機能は、非表示の欠陥を検出し、汚染物質や粒子を識別するために使用されます。KLA/TENCOR 7700は、高度なカラーバリエーション2。0 （ACV2.0）イメージングを提供しています。ACV2.0は、NIR（近赤外線）イメージングと高度な色分析を統合して、異なるレイヤー間の複雑な色の遷移を迅速かつ正確に測定します。この技術により、アセットは、ピクセルからピクセルへの色の遷移や異常を検出することができます。KLA 7700はCOMNET-Iプログラム可能なソフトウェアによって制御されており、ウェーハ仕様の迅速かつ簡単なプログラミングが可能です。業界標準のLIMS、ワークシート、スケーラブルなソリューションを活用して、モデルはMESシステムに接続し、手動プログラミングとスクリプティングを削減し、リアルタイムで統計的整合性のあるプロセス制御データを提供できます。工場の床のテストおよび点検のために、TENCOR 7700は生産ラインに統合できます。モジュール式ソフトウェアパッケージを使用すると、装置は、自動レシピ、カスタマイズされたジョブ処理、および制御された工場設定などの個々の顧客の要件を満たすようにカスタマイズできます。したがって、このシステムは、各ウェーハが測定と歩留まりの両方の面で正確かつ効率的に分析されることを保証します。